טערמינאָלאָגיע וואָס איז אָפט פֿאַרבונדן מיט סיליקאָן קאַרבייד פּראַסעסינג

רעקריסטאַליזירט סיליקאָן קאַרבייד (RXSIC, ReSIC, RSIC, R-SIC). דער אָנהייב רוי מאַטעריאַל איז סיליקאָן קאַרבייד. קיין דענסיפיקאַציע הילף-מיטלען ווערן נישט גענוצט. די גרינע קאָמפּאַקטן ווערן געהייצט צו איבער 2200ºC פֿאַר לעצטער קאָנסאָלידאַציע. דער רעזולטאַט מאַטעריאַל האט וועגן 25% פּאָראָסיטי, וואָס באַגרענעצט זייַנע מעכאַנישע אייגנשאַפטן; אָבער, דער מאַטעריאַל קען זיין זייער ריין. דער פּראָצעס איז זייער עקאָנאָמיש.
רעאַקציע-געבונדענע סיליקאָן קאַרבייד (RBSIC). די אָנהייב-רוי מאַטעריאַלן זענען סיליקאָן קאַרבייד פּלוס קוילנשטאָף. דער גרינער קאָמפּאָנענט ווערט דערנאָך אינפֿילטרירט מיט געשמאָלצן סיליקאָן העכער 1450ºC מיט דער רעאַקציע: SiC + C + Si -> SiC. די מיקראָסטרוקטור האט בכלל אַ געוויסע מאָס פון איבעריקן סיליקאָן, וואָס באַגרענעצט אירע הויך-טעמפּעראַטור אייגנשאַפטן און קעראָוזשאַן קעגנשטעל. קליינע דימענסיאָנעלע ענדערונגען פּאַסירן בעת ​​דעם פּראָצעס; אָבער, אַ שיכט פון סיליקאָן איז אָפט פאָרשטעלן אויף דער ייבערפלאַך פון דעם לעצטן טייל. ZPC RBSiC ווערן אנגענומען די אַוואַנסירטע טעכנאָלאָגיע, פּראָדוצירנדיק די טראָגן-קעגנשטעליקע ליינינג, פּלאַטעס, טיילז, ציקלאָן ליינינג, בלאַקס, ירעגולערע טיילן, און טראָגן און קעראָוזשאַן קעגנשטעל FGD נאַזאַלז, היץ וועקסלער, רערן, רערן, און אַזוי ווייטער.

ניטריד געבונדענע סיליקאן קאַרבייד (NBSIC, NSIC). די אָנהייבנדיקע רוי מאַטעריאַלן זענען סיליקאן קאַרבייד פּלוס סיליקאן פּודער. דער גרינער קאָמפּאַקט ווערט געברענט אין אַ שטיקשטאָף אַטמאָספער, וואו די רעאַקציע SiC + 3Si + 2N2 -> SiC + Si3N4 פּאַסירט. דער לעצטער מאַטעריאַל ווייזט קליינע דימענסיאָנעלע ענדערונגען בעת ​​דער פּראָצעסירונג. דער מאַטעריאַל ווייזט אַ געוויסע מדרגה פון פּאָראָזיטעט (געווענליך בערך 20%).

דירעקט סינטערד סיליקאן קאַרבייד (SSIC). סיליקאן קאַרבייד איז דער אָנהייב רוי מאַטעריאַל. דענסיפיקאַציע הילף זענען באָר פּלוס טשאַד, און דענסיפיקאַציע פּאַסירט דורך אַ האַרט-שטאַט רעאַקציע פּראָצעס העכער 2200ºC. אירע הויך טעמפּעראַטור פּראָפּערטיעס און קעראָוזשאַן קעגנשטעל זענען העכער ווייַל פון די פעלן פון אַ גלאַסי צווייטע פאַסע ביי די קערל גרענעצן.

פליסיק-פאזע סינטערד סיליקאן קארבייד (LSSIC). סיליקאן קארבייד איז דער אויסגאנג רוי מאטעריאל. דענסיפיקאציע הילף-מיטלען זענען איטריום אקסייד פּלוס אַלומינום אקסייד. דענסיפיקאציע פאסירט העכער 2100ºC דורך א פליסיק-פאזע רעאקציע און רעזולטאטן אין א גלאנציגער צווייטער פאזע. די מעכאנישע אייגנשאפטן זענען בכלל העכער ווי SSIC, אבער די הויך-טעמפּעראַטור אייגנשאפטן און די קעראָוזשאַן קעגנשטעל זענען נישט אַזוי גוט.

הייס געפּרעסטע סיליקאָן קאַרבייד (HPSIC). סיליקאָן קאַרבייד פּודער ווערט גענוצט ווי דער אָנהייב רוי מאַטעריאַל. דענסיפיקאַציע הילף-מיטלען זענען בכלל באָר פּלוס טשאַד אָדער יטריום אָקסייד פּלוס אַלומינום אָקסייד. דענסיפיקאַציע פּאַסירט דורך אַ סיימאַלטייניאַס אַפּלאַקיישאַן פון מעכאַנישע דרוק און טעמפּעראַטור אין אַ גראַפיט שטאַרבן קאַוואַטי. די פֿאָרמען זענען פּשוט פּלאַטעס. נידעריקע מאָסן פון סינטערינג הילף-מיטלען קענען ווערן גענוצט. מעכאַנישע אייגנשאַפֿטן פון הייס געפּרעסטע מאַטעריאַלן ווערן גענוצט ווי די באַזע קעגן וועלכע אַנדערע פּראָצעסן ווערן קאַמפּערד. עלעקטרישע אייגנשאַפֿטן קענען ווערן געביטן דורך ענדערונגען אין די דענסיפיקאַציע הילף-מיטלען.

CVD סיליקאָן קאַרבייד (CVDSIC). דאָס מאַטעריאַל ווערט געשאַפן דורך אַ כעמישער פארע-דעפּאָזיציע (CVD) פּראָצעס וואָס נעמט אַרײַן די רעאַקציע: CH3SiCl3 -> SiC + 3HCl. די רעאַקציע ווערט דורכגעפירט אונטער אַ H2 אַטמאָספער, מיטן SiC דעפּאָנירט אויף אַ גראַפיט סאַבסטראַט. דער פּראָצעס רעזולטירט אין אַ זייער הויך-ריינקייט מאַטעריאַל; אָבער, נאָר פּשוטע פּלאַטעס קענען געמאַכט ווערן. דער פּראָצעס איז זייער טייַער צוליב די לאַנגזאַמע רעאַקציע צייטן.

כעמישע פארע קאמפאזיט סיליקאן קארבייד (CVCSiC). דער פראצעס הייבט זיך אן מיט א פראפּריעטארי גראַפיט פארגייער וואס ווערט באארבעט אין כמעט-נעץ פארמען אין דעם גראַפיט צושטאנד. דער קאנווערזיע פראצעס אונטערווארפט דעם גראַפיט טייל צו אן אין-סיטו פארע הארט-צושטאנד רעאקציע צו פראדוצירן א פאליקריסטאלינע, סטויכיאמעטריש קארעקטע SiC. דער שטארק קאנטראלירטער פראצעס ערלויבט קאמפליצירטע דיזיינס צו ווערן פראדוצירט אין א גאנץ קאנווערטירטן SiC טייל וואס האט ענגע טאלעראנץ אייגנשאפטן און הויכע ריינקייט. דער קאנווערזיע פראצעס פארקירצט די נארמאלע פראדוקציע צייט און רעדוצירט קאסטן איבער אנדערע מעטאדן.* מקור (אחוץ וואו באמערקט): סעראדיין אינק., קאסטא מעסא, קאליפארניע.