דער אומזעבארער סקולפטאר פון דער מיקראָ וועלט: ווי סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק האַלט דעם שפּיץ פון פּרעציזיע אין טשיפּ מאַנופאַקטורינג

אין ליטאָגראַפֿיע מאַשינען פֿאַר טשיפּ פּראָדוקציע, קען אַן אומזעיקבאַרער טעות צעשטערן וועיפֿערס ווערט מיליאָנען דאָלאַרן. יעדער מיקראָמעטער פֿון פֿאַרשייבונג דאָ איז קריטיש פֿאַר דעם הצלחה אָדער דורכפֿאַל פֿון נאַנאָסקאַלע קרייזן, און דער קערן וואָס שטיצט דעם פּרעציזיע טאַנץ איז אונדזער פּראָוטאַגאַניסט הייַנט:סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק מאַטעריאַל– עס איז ווי אַ סטאַביליזירנדיקע קראַפט אין דער מיקראָסקאָפּישער וועלט, וואָס היט די פּינקטלעכע לעבנס-ליניע פון ​​דער מאָדערנער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע אין עקסטרעמע סביבות.
1. ווען קעראַמיק טרעפט טשיפּס: אַן אולטימאַטיווע אַרויסרופן אין אַקיעראַסי
די פּרעציזיע קעראַמישע קאָמפּאָנענטן פון ליטאָגראַפֿיע מאַשינען דאַרפֿן שפּילן דריי ראָלעס סיימאַלטייניאַסלי:
אולטרא סטאַבילע באַזע: קען אויסהאַלטן עטלעכע טאָנען דרוק אין מאָמענט פון אויסשטעלונג אָבער בלייבט אָן באַוועגונג.
טעמפּעראַטור סענטינעל: האַלט טערמישע פעסטקייט אונטער הויך טערמישע שאָק פון לאַזער.
וואַקוום גאַרדיאַן: האַלט אַטאָמישע לעוועל פלאַכקייט פֿאַר צען יאָר אין אַ נול ווייבריישאַן סביבה.
טראדיציאנעלע מעטאל מאטעריאלן וועלן פראדוצירן "מיקרא טרעמערס" צוליב טערמישער אויסברייטונג און קאנטראקציע, בשעת פאלימער מאטעריאלן זענען שווער צו קעגנשטעלן פלאזמע קאראזיע. סיליקאן קארבייד קעראמיקס, מיט זייער אייגנארטיגער קריסטאל סטרוקטור, דערגרייכן א גאנץ באלאנס אין הארטקייט, טערמישער קאנדוקטיוויטעט, און דעפארמאציע קעגנשטאנד, מאכנדיג זיי די בעסטע ברירה פאר די הויפט קאמפאנענטן פון ליטאגראפיע מאשינען.
2, נאַנאָ לעוועל פּרעציזיע 'אומזעיקבארער באַדיגאַרד'
אין שפּיץ-קלאַס ליטאָגראַפֿיע מאַשינען ווי ASML אין האָלאַנד, NIKON און CANON אין יאַפּאַן, שרייבן סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק שטילערהייט איבער די כּללים פֿון פּרעציזיע פּראָדוקציע:
מאַסקע בינע: טראָגן אַ פאָטאָמאַסקע ווערט אַזוי פיל ווי גאָלד, און אויפהאַלטן נאַנאָמעטער לעוועל פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי בעת הויך-גיכקייַט באַוועגונג.
רעפלעקטיוו שפּיגל סאַבסטראַט: די ייבערפלאַך ראַפנאַס איז גאָר קליין, אפילו גלאַטער ווי אַ שפּיגל ייבערפלאַך.
וואַקוום קאַמער: נאָך צען יאָר פון נוצן, איז די דעפאָרמאַציע ווייניקער ווי אַ טויזנטסטל פון אַ מענטשלעכע האָר
די כּמעט 'אַנטי-קאָמענד-פאַרשטאַנד' סטאַביליטעט שטאַמט פֿון די דרייפאַכע גענעס פֿון סיליקאָן קאַרבייד מאַטעריאַלן:
1. דער קאָעפֿיציענט פֿון טערמישער אויסברייטונג דערנענטערט זיך צו נול: כּמעט "פֿאַרפֿרוירענע עלטער" פֿון -150 ℃ ביז 500 ℃
2. דריי מאָל האַרדער ווי שטאָל: קעגנשטעליק צו מיקראָסקאָפּישע שעדיקן געפֿירט דורך פּאַרטיקל באָמבאַרדירונג
3. זעלבסט-לובריקאציע אייגנשאפטן: דערגרייכן אויל-פרייע גענויע טראנסמיסיע אין א וואקיום סביבה
3. די 'שטילע רעוואלוציע' אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע
ווי דער טשיפּ פאַבריקאַציע פּראָצעס גייט אַרײַן אין דער 2-נאַנאָמעטער תקופה, ברעכן סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק דורך מער לימיטן:
דואַל אַרבעטסטיש: ערלויבט צוויי סיסטעמען צו פאַרענדיקן "אַטאָמישע לעוועל רעליי" אין אַ וואַקוום סביבה.
EUV אָפּטישער וועג סיסטעם: קעגנשטעליק צו קעסיידערדיקער באָמבאַרדירונג פון 13.5 נם עקסטרעם אולטראַוויאָלעט ליכט.
מולטי-אַקס לינקאַדזש סיסטעם: דערגרייכן 200 נאַנאָסקאַלע טריט פּער סעקונדע אָן דזשענערייטינג קיומיאַלאַטיוו ערראָרס.
א געוויסע ליטאגראפיע מאשין פארשונג און אנטוויקלונג מאַנשאַפֿט האט דורכגעפירט פאַרגלייַכנדיקע טעסץ: נאָך ניצן אַ סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ווערקפּיס בינע, איז די סיסטעם פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי פֿאַרבעסערט געוואָרן מיט 40%, און דער ויסריכט וישאַלט ציקל איז פֿאַרלענגערט געוואָרן פֿון 3 חדשים צו 2 יאָר. די ענדערונג ניט בלויז ראַדוסירט די פּראָדוקציע קאָסטן פֿון טשיפּס, אָבער ברענגט אויך די מאַנופאַקטורינג אַקיעראַסי פֿון "כינעזישע טשיפּס" צו דער פֿאָדערשטער ריי פֿון אינטערנאַציאָנאַלע סטאַנדאַרדן פֿאַר דער ערשטער מאָל.

4、 דער קלעטערן וועג פֿון לאַבאָראַטאָריע צו אינדוסטריאַליזאַציע
פאַבריצירן ליטאָגראַפֿיע גראַד סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק איז ווי בויען אַ "פלאָלאַס פּאַלאַץ" אין דער מיקראָסקאָפּיש וועלט:
רוי מאַטעריאַל ריינקייט: אולטראַ ריין סיליקאָן קאַרבייד פּודער, טויזנטער מאָל ריינער ווי עסבאר זאַלץ.
סינטערינג פּראָצעס: פּינקטלעכע קאָנטראָל פון קריסטאַל וווּקס ריכטונג ביי הויך טעמפּעראַטורן.
פּרעציזיע מאַשינינג מיט דימענט שניידנדיק מכשירים פֿאַר סוב-מיקראָן מדרגה קאַרווינג נעמט אַזוי פיל צייט ווי קולטור רעליק רעסטאַווראַציע.
עס איז דער דאזיגער דואַלער דורכברוך פון "מאַטעריאַל וויסנשאַפֿט + פּרעציזיע מאַנופאַקטורינג" וואָס האָט געמאַכט שניידנדיקע מאַטעריאַלן, וואָס זענען אַמאָל געווען באַגרענעצט צו אַעראָספּייס און מיליטערישע אינדוסטריעס, ווערן איצט די פונדאַמענטאַלע קאָמפּאָנענטן וואָס שטיצן דיגיטאַלע ציוויליזאַציע.
אין היינטיקן טשיפּ פאַבריקאַציע פּראָצעס, וואָס האָט דערגרייכט דעם פיזישן גרענעץ, באַווייַזט סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק מיט אירע "נול קאָמפּראָמיס" כאַראַקטעריסטיקס אַז אמתע פּרעציזיע איז נישט די סטאַקינג פון דאַטן, נאָר די לעצט קאָנטראָל איבער די עסאַנס פון מאַטעריאַלן. ווען יעדער קעראַמישער קאָמפּאָנענט טראָגט די צוזאָג פון מיליאָנען נאַנאָסקאַלע באַוועגונגען, וואָס מיר זען איז נישט בלויז די עוואָלוציע פון ​​האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט, נאָר אויך די פעסטקייט פון אַ לאַנד'ס אינדוסטריע צו גיין צו דער שפּיץ פון פּרעציזיע.