I loko o nā mīkini lithography no ka hana ʻana i nā ʻāpana, hiki i kahi hewa ʻike ʻole ʻia ke hoʻopau i nā wafers waiwai miliona miliona kālā. He mea nui kēlā me kēia micrometer o ka neʻe ʻana ma aneʻi no ka holomua a i ʻole ka hāʻule ʻana o nā kaapuni nanoscale, a ʻo ke kumu e kākoʻo ana i kēia hula pololei ʻo ia kā mākou protagonist i kēia lā:mea seramika silicon carbide- ua like ia me ka mana hoʻopaʻa i loko o ke ao microscopic, e kiaʻi ana i ke ola pololei o ka ʻoihana semiconductor hou i nā wahi koʻikoʻi.
1. Ke hui nā keramika me nā ʻāpana: He pilikia koʻikoʻi loa i ka pololei
Pono nā ʻāpana keramika kikoʻī o nā mīkini lithography e pāʻani i ʻekolu mau kuleana i ka manawa like:
Kumu paʻa loa: kū i kekahi mau tona o ke kaomi i ka manawa o ka hōʻike ʻana akā noho mālie.
Kiaʻi mahana: mālama i ke kūpaʻa wela ma lalo o ke kūpikipikiʻana wela kiʻekiʻe o ka laser.
Vacuum Guardian: mālama i ka palahalaha o ka pae atomika no nā makahiki he ʻumi i loko o kahi ʻano haʻalulu ʻole.
E hoʻopuka nā mea metala kuʻuna i nā "micro tremors" ma muli o ka hoʻonui ʻana a me ka ʻūlū ʻana o ka wela, ʻoiai he paʻakikī nā mea polymer e pale aku i ka pala plasma. ʻO nā keramika Silicon carbide, me ko lākou ʻano kristal kū hoʻokahi, loaʻa kahi kaulike kūpono i ka paʻakikī, ka conductivity thermal, a me ke kū'ē ʻana i ka deformation, e lilo ana lākou i koho kiʻekiʻe no nā ʻāpana koʻikoʻi o nā mīkini lithography.
2, ʻO ka 'mea kiaʻi kino ʻike ʻole' o ka pae Nano
Ma nā mīkini lithography kiʻekiʻe e like me ASML ma Netherlands, NIKON a me CANON ma Iapana, ke kākau hou nei nā keramika silicon carbide i nā lula o ka hana pololei:
Kahua o ka pale maka: ke hāpai nei i kahi pale maka kiʻi e like me ke gula, e mālama ana i ka pololei o ke kūlana o ka pae nanometer i ka wā o ka neʻe wikiwiki.
ʻO ke kumu aniani ʻālohilohi: He liʻiliʻi loa ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili, ʻoi aku ka laumania ma mua o ka ʻili aniani.
Keʻena hakahaka: Ma hope o nā makahiki he ʻumi o ka hoʻohana ʻana, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka deformation ma mua o hoʻokahi tausani o ka lauoho kanaka
ʻO kēia kūpaʻa kokoke i ka 'anti common noʻonoʻo' e puka mai ana mai nā genes ʻekolu o nā mea silicon carbide:
1. Hoʻokokoke ke koina o ka hoʻonui wela i ka ʻole: kokoke i ka "makahiki hau" mai -150 ℃ a i 500 ℃
2. ʻEkolu manawa ʻoi aku ka paʻakikī ma mua o ke kila: kū i ka pōʻino microscopic i hoʻokumu ʻia e ka hoʻouka ʻana o nā ʻāpana
3. Nā ʻano lubrication ponoʻī: E hoʻokō i ka hoʻoili pololei ʻole ʻaila i loko o kahi ʻano vacuum
3, ʻO ka 'kipi mālie' i loko o ka ʻoihana semiconductor
I ke komo ʻana o ke kaʻina hana ʻāpana i ka wā 2-nanometer, ke uhaʻi nei nā keramika silicon carbide i nā palena hou aʻe:
Papa hana pālua: e ʻae i ʻelua ʻōnaehana e hoʻopau i ka "atomic level relay" i loko o kahi ʻano vacuum.
ʻŌnaehana ala optical EUV: kūpaʻa i ka hoʻopā mau ʻana o ka mālamalama ultraviolet koʻikoʻi 13.5nm.
ʻŌnaehana loulou axis multi: hoʻokō i 200 mau ʻanuʻu nanoscale i kekona me ka ʻole o ka hoʻopuka ʻana i nā hewa cumulative.
Ua hana kekahi hui R&D mīkini lithography i nā hoʻokolohua hoʻohālikelike: ma hope o ka hoʻohana ʻana i kahi kahua hana keramika silicon carbide, ua hoʻomaikaʻi ʻia ka pololei o ke kūlana ʻōnaehana ma 40%, a ua hoʻolōʻihi ʻia ke kaʻina hana mālama lako mai 3 mahina a i 2 mau makahiki. ʻAʻole wale kēia hoʻololi e hōʻemi i ke kumukūʻai hana o nā ʻāpana, akā lawe pū kekahi i ka pololei o ka hana ʻana o nā "ʻāpana Kina" i mua o nā kūlana honua no ka manawa mua.
4, Ke ala piʻi mai ka hale hana hoʻokolohua a i ka ʻoihana hana
ʻO ka hana ʻana i nā keramika silicon carbide papa lithography e like me ke kūkulu ʻana i kahi 'hale aliʻi kīnā ʻole' i loko o ka honua microscopic:
Maʻemaʻe o ka mea maka: Pauka silicon carbide maʻemaʻe loa, he mau tausani manawa ʻoi aku ka maʻemaʻe ma mua o ka paʻakai ʻai.
Ke kaʻina hana sintering: kaohi pololei o ke kuhikuhi ulu kristal ma nā mahana kiʻekiʻe.
ʻO ka hana ʻana i ka mīkini kikoʻī me ka hoʻohana ʻana i nā mea ʻoki daimana no ke kālai ʻana i ka pae sub micron e like ka lōʻihi me ka hoʻihoʻi ʻana i nā mea kahiko o ka moʻomeheu.
ʻO kēia holomua pālua o ka "ʻepekema mea + hana pololei" i hoʻolilo i nā mea ʻoi loa, i kaupalena ʻia i nā ʻoihana aerospace a me nā ʻoihana koa, i kēia manawa ua lilo i mau ʻāpana nui e kākoʻo ana i ka nohona kikohoʻe.
I ke kaʻina hana hana ʻāpana o kēia lā, ka mea i hōʻea i ka palena kino, hōʻike nā keramika silicon carbide me kona mau ʻano "zero compromise" ʻaʻole ka pololei maoli ka hoʻopili ʻana o ka ʻikepili, akā ʻo ka mana hope loa ma luna o ke ʻano o nā mea. Ke hāpai kēlā me kēia ʻāpana keramika i ka ʻōlelo hoʻohiki o nā miliona o nā neʻe nanoscale, ʻo ka mea a mākou e ʻike ai ʻaʻole wale ka ulu ʻana o nā lako semiconductor, akā ʻo ka hoʻoholo ʻana hoʻi o ka ʻoihana o kahi lāhui e neʻe i ka piko o ka pololei.
Ka manawa hoʻouna: ʻApelila-03-2025