የማይክሮ ዓለሙ የማይታየው የቅርጻ ቅርጽ ባለሙያ፡- ሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ በቺፕ ማምረቻው ላይ ትክክለኛነትን እንዴት እንደሚይዝ

በሊቶግራፊ ማሽኖች ለቺፕ ማምረቻ፣ የማይታይ ስህተት በሚሊዮን የሚቆጠር ዶላር የሚያወጡ ቫፈርዎችን ሊያጠፋ ይችላል። እዚህ ያለው እያንዳንዱ ማይክሮሜትር ለ nanoscale ወረዳዎች ስኬት ወይም ውድቀት ወሳኝ ነው፣ እና ይህን ትክክለኛ ውዝዋዜ የሚደግፈው ዋና ገፀ ባህሪያችን ዛሬ ነው።የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ቁሳቁስ- እጅግ በጣም አስቸጋሪ በሆኑ አካባቢዎች ውስጥ የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን ትክክለኛ የህይወት መስመር በመጠበቅ በጥቃቅን ዓለም ውስጥ እንደ ማረጋጋት ኃይል ነው።
1. ሴራሚክስ ቺፖችን ሲገናኙ፡ ለትክክለኛነቱ የመጨረሻ ፈተና
የሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ የሴራሚክ ክፍሎች በአንድ ጊዜ ሶስት ሚናዎችን መጫወት አለባቸው-
እጅግ በጣም የተረጋጋ መሠረት፡ በተጋለጡበት ጊዜ ብዙ ቶን ግፊትን ይቋቋማል ነገር ግን እንቅስቃሴ አልባ ሆኖ ይቆያል።
የሙቀት ልኬት፡ በሌዘር ከፍተኛ የሙቀት ድንጋጤ ስር የሙቀት መረጋጋትን ይጠብቃል።
የቫኩም ጠባቂ፡- በዜሮ ንዝረት አካባቢ ውስጥ የአቶሚክ ደረጃ ጠፍጣፋነትን ለአስር አመታት ያቆያል።
ባህላዊ የብረታ ብረት ቁሳቁሶች በሙቀት መስፋፋት እና መጨናነቅ ምክንያት "ጥቃቅን መንቀጥቀጥ" ይፈጥራሉ, ፖሊመር ቁሳቁሶች የፕላዝማ ዝገትን ለመቋቋም አስቸጋሪ ናቸው. የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክስ፣ ልዩ በሆነው ክሪስታል አወቃቀራቸው፣ በጠንካራነት፣ በሙቀት አማቂነት እና በዲፎርሜሽን መቋቋም ላይ ፍጹም ሚዛን ያስገኛሉ፣ ይህም ለሊቶግራፊ ማሽኖች ዋና ዋና ክፍሎች ተመራጭ ያደርጋቸዋል።
2. የናኖ ደረጃ ትክክለኛነት 'የማይታይ ጠባቂ'
እንደ ኔዘርላንድስ ASML፣ NIKON እና CANON በጃፓን ባሉ ከፍተኛ ደረጃ ሊቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክስ ትክክለኛ የማምረቻ ደንቦችን በጸጥታ እየፃፉ ነው።
የማስክ ደረጃ፡ ልክ እንደ ወርቅ የሚያህል የፎቶ ጭምብል መያዝ፣ በከፍተኛ ፍጥነት በሚንቀሳቀስበት ጊዜ የናኖሜትር ደረጃ አቀማመጥ ትክክለኛነትን መጠበቅ።
አንጸባራቂ የመስታወት ንጣፍ፡- የገጹ ሸካራነት እጅግ በጣም ትንሽ ነው፣ ከመስታወት ወለል እንኳን ለስላሳ ነው።
የቫኩም ክፍል፡- ከአሥር ዓመት ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላ፣ ቅርጹ ከሰው ፀጉር ከአንድ ሺሕ ያነሰ ነው።
ይህ 'ፀረ-የጋራ አስተሳሰብ' መረጋጋት የሚመነጨው ከሲሊኮን ካርቦይድ ቁሶች የሶስትዮሽ ጂኖች ነው።
1. የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ ወደ ዜሮ ይጠጋል፡- “የቀዘቀዘ ዕድሜ” ከ -150 ℃ እስከ 500 ℃ ማለት ይቻላል
2. ከብረት በሦስት እጥፍ የሚከብድ፡ በንጥል ቦምብ የሚደርስ ጥቃቅን ጉዳት መቋቋም
3. የራስ ቅባት ባህሪያት፡- ከዘይት ነፃ የሆነ ትክክለኛ ስርጭትን በቫኩም አካባቢ ማግኘት
3, በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ያለው 'ዝምታ አብዮት'
ቺፕ የማምረት ሂደቱ ወደ 2-ናኖሜትር ዘመን ሲገባ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ ተጨማሪ ገደቦችን እየጣሰ ነው።
ባለሁለት የስራ ሠንጠረዥ፡- ሁለት ስርዓቶች በቫኩም አከባቢ ውስጥ “የአቶሚክ ደረጃ ቅብብል”ን እንዲያጠናቅቁ ያስችላቸዋል።
EUV የጨረር መንገድ ስርዓት፡ የ13.5nm ከፍተኛ የአልትራቫዮሌት ብርሃን ቀጣይነት ያለው የቦምብ ድብደባ መቋቋም የሚችል።
ባለብዙ ዘንግ ትስስር ስርዓት፡ ድምር ስህተቶችን ሳያመነጭ በሰከንድ 200 nanoscale ደረጃዎችን ማሳካት።
የተወሰነ የሊቶግራፊ ማሽን የ R&D ቡድን የንፅፅር ሙከራዎችን አድርጓል-የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ የስራ ደረጃን ከተጠቀሙ በኋላ የስርዓት አቀማመጥ ትክክለኛነት በ 40% ተሻሽሏል ፣ እና የመሳሪያው የጥገና ዑደት ከ 3 ወር ወደ 2 ዓመታት ተራዝሟል። ይህ ለውጥ የቺፕስ ምርት ዋጋን ብቻ ሳይሆን የ "ቻይንኛ ቺፕስ" የማምረት ትክክለኛነትን ለመጀመሪያ ጊዜ በዓለም አቀፍ ደረጃዎች ላይ ያመጣል.

4. ከላቦራቶሪ ወደ ኢንዱስትሪያላይዜሽን የሚወስደው መንገድ
የሊቶግራፊ ደረጃ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ሴራሚክስ ማምረት በጥቃቅን ዓለም ውስጥ 'እንከን የለሽ ቤተ መንግሥት' እንደ መገንባት ነው።
የጥሬ ዕቃ ንፅህና፡ እጅግ በጣም ንፁህ የሲሊኮን ካርቦዳይድ ዱቄት፣ ከምግብ ጨው በሺህ የሚቆጠር ጊዜ ንጹህ።
የማጣቀሚያ ሂደት: በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የክሪስታል እድገት አቅጣጫን በትክክል መቆጣጠር.
የንዑስ ማይክሮን ደረጃን ለመቅረጽ የአልማዝ መቁረጫ መሳሪያዎችን በመጠቀም ትክክለኛነት ማሽነሪ የባህል ቅርስን ወደነበረበት መመለስ ያህል ጊዜ ይወስዳል።
በአንድ ወቅት በኤሮስፔስ እና በወታደራዊ ኢንዱስትሪዎች ብቻ ተወስነው የነበሩትን ቆራጥ ቁሶች አሁን የዲጂታል ስልጣኔን የሚደግፉ መሰረታዊ አካላት እንዲሆኑ ያደረገው ይህ የ"ቁሳቁስ ሳይንስ+ትክክለኛ ማምረቻ" ድርብ ግኝት ነው።
የዛሬው የቺፕ ማምረቻ ሂደት፣ አካላዊ ገደብ ላይ በደረሰው፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ በ"ዜሮ ስምምነት" ባህሪያቱ ያረጋግጣሉ፣ እውነተኛ ትክክለኛነት የመረጃ መደራረብ ሳይሆን የቁሳቁሶችን ምንነት የመጨረሻ ቁጥጥር ነው። እያንዳንዱ የሴራሚክ ክፍል በሚሊዮን የሚቆጠሩ የናኖስኬል እንቅስቃሴዎችን ቃል ሲሸከም፣ የምናየው የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ዝግመተ ለውጥ ብቻ ሳይሆን የአንድ ሀገር ኢንዱስትሪ ወደ ትክክለኛነት ጫፍ ለመሸጋገር መወሰኑንም ጭምር ነው።