የማይክሮ አለም ቅርፃቅርፅ፡ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ በቺፕ ማምረቻ ውስጥ ከፍተኛውን ትክክለኛነት እንዴት እንደሚይዝ

በቺፕ ማምረቻ ሊትቶግራፊ ማሽኖች ውስጥ፣ የማይታይ ስህተት በሚሊዮን የሚቆጠር ዶላር የሚያወጡ ዋፈርዎችን ሊያጠፋ ይችላል። እዚህ ያለው እያንዳንዱ ማይክሮሜትር መፈናቀል ለናኖስኬል ሰርክዩቶች ስኬት ወይም ውድቀት ወሳኝ ነው፣ እና ይህንን ትክክለኛ ዳንስ የሚደግፈው ዋና ገፀ ባህሪያችን ዛሬ ነው፡የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ቁሳቁስ- በአጉሊ መነጽር ዓለም ውስጥ እንደ ማረጋጊያ ኃይል ነው፣ ይህም በከባድ አካባቢዎች ውስጥ የዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪን ትክክለኛነት የሚጠብቅ ነው።
1, ሴራሚክስ ቺፕስን ሲገጥም: ትክክለኛ ለመሆን እጅግ በጣም ጥሩ ፈተና
የሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ የሴራሚክ ክፍሎች በአንድ ጊዜ ሶስት ሚናዎችን መጫወት አለባቸው፡
እጅግ በጣም የተረጋጋ መሠረት፡- በተጋለጠበት ጊዜ በርካታ ቶን ግፊትን ይቋቋማል ነገር ግን እንቅስቃሴ አልባ ሆኖ ይቆያል።
የሙቀት ጠባቂ፡- በከፍተኛ የሌዘር የሙቀት ድንጋጤ ስር የሙቀት መረጋጋትን ይጠብቃል።
የቫኩም ጋርዲያን፡- በዜሮ ንዝረት አካባቢ ውስጥ ለአስር አመታት የአቶሚክ ደረጃ ጠፍጣፋነትን ይጠብቃል።
ባህላዊ የብረት ቁሳቁሶች በሙቀት መስፋፋትና በመኮማተር ምክንያት "ጥቃቅን መንቀጥቀጥ" ይፈጥራሉ፣ የፖሊመር ቁሳቁሶች ደግሞ የፕላዝማ ዝገትን ለመቋቋም አስቸጋሪ ናቸው። የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ፣ ልዩ የሆነ የክሪስታል አወቃቀራቸው፣ በጥንካሬ፣ በሙቀት ማስተላለፊያ እና በዲፎርሜሽን መቋቋም ፍጹም ሚዛን ያገኛሉ፣ ይህም ለሊቶግራፊ ማሽኖች ዋና ዋና ክፍሎች ከፍተኛ ምርጫ ያደርጋቸዋል።
2, የናኖ ደረጃ ትክክለኛነት 'የማይታይ ጠባቂ'
እንደ ASML በኔዘርላንድስ፣ NIKON እና CANON ባሉ ከፍተኛ ደረጃ ባላቸው የሊቶግራፊ ማሽኖች፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ የትክክለኛነት ማምረቻ ደንቦችን በጸጥታ እንደገና እየጻፈ ነው፡
የጭምብል ደረጃ፡- እንደ ወርቅ የሚያክል ዋጋ ያለው የፎቶ ጭንብል መያዝ፣ በከፍተኛ ፍጥነት በሚንቀሳቀስበት ጊዜ የናኖሜትር ደረጃ አቀማመጥ ትክክለኛነትን መጠበቅ።
የሚያንጸባርቅ የመስታወት ንጣፍ፡- የገጽታው ሸካራነት እጅግ በጣም ትንሽ ነው፣ ከመስታወት ወለል የበለጠ ለስላሳ ነው።
የቫኩም ቻምበር፡- ከአስር ዓመታት ጥቅም ላይ ከዋለ በኋላ፣ የተበላሸው ሁኔታ ከአንድ ሰው ፀጉር አንድ ሺህኛ ያነሰ ነው
ይህ 'ከጋራ አስተሳሰብ' ጋር የሚመሳሰል መረጋጋት የሚመነጨው ከሲሊኮን ካርቦይድ ቁሳቁሶች ሶስት ጂኖች ነው፡
1. የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት ወደ ዜሮ ቀርቧል፡ ከ -150 ℃ እስከ 500 ℃ ድረስ “የቀዘቀዘ ዕድሜ” ማለት ይቻላል
2. ከብረት በሦስት እጥፍ የሚጠነክር፡ በቅንጣት ቦምብ ፍንዳታ ምክንያት ለሚከሰት ጥቃቅን ጉዳት የሚቋቋም
3. የራስ ቅባት ባህሪያት፡- በቫክዩም አካባቢ ውስጥ ዘይት-አልባ ትክክለኛ ስርጭትን ያግኙ
3, በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ያለው 'ዝምተኛ አብዮት'
የቺፕ ማምረቻ ሂደቱ ወደ 2 ናኖሜትር ዘመን ሲገባ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ ተጨማሪ ገደቦችን እያፈረሰ ነው፡
ድርብ የስራ ሰንጠረዥ፡ ሁለት ስርዓቶች በቫክዩም አካባቢ ውስጥ "የአቶሚክ ደረጃ ቅብብል" እንዲያጠናቅቁ ያስችላቸዋል።
የEUV ኦፕቲካል መንገድ ስርዓት፡- 13.5nm ከፍተኛ የአልትራቫዮሌት ብርሃን ያለማቋረጥ የሚፈነዳ ቦምብ መቋቋም የሚችል።
ባለብዙ ዘንግ ትስስር ስርዓት፡- በሰከንድ 200 የናኖስኬል ደረጃዎችን ማሳካት ያለ ድምር ስህተቶች።
የተወሰነ የሊቶግራፊ ማሽን የምርምር እና ልማት ቡድን የንፅፅር ሙከራዎችን አካሂዷል፡ የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ የስራ ቦታ ደረጃን ከተጠቀሙ በኋላ የስርዓት አቀማመጥ ትክክለኛነት በ40% ተሻሽሏል፣ እና የመሳሪያዎች የጥገና ዑደት ከ3 ወር ወደ 2 ዓመት ተዘርግቷል። ይህ ለውጥ የቺፖችን የምርት ወጪ ከመቀነሱም በላይ የ"ቻይና ቺፕስ" የማምረቻ ትክክለኛነትን ለመጀመሪያ ጊዜ በዓለም አቀፍ ደረጃዎች ግንባር ቀደም አድርጎታል።

4, ከላቦራቶሪ ወደ ኢንዱስትሪያልነት የሚወስደውን መንገድ መውጣት
የሊቶግራፊ ደረጃ ያለው የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ ማምረት በአጉሊ መነጽር ዓለም ውስጥ 'እንከን የለሽ ቤተ መንግሥት' ከመገንባት ጋር ተመሳሳይ ነው፡
ጥሬ እቃ ንፅህና፡ እጅግ በጣም ንፁህ የሲሊኮን ካርቦይድ ዱቄት፣ ከሚበላው ጨው በሺዎች እጥፍ የበለጠ ንፁህ።
የማቅለጫ ሂደት፡- በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የክሪስታል እድገት አቅጣጫ ትክክለኛ ቁጥጥር።
ለንዑስ ማይክሮን ደረጃ ቅርጻቅርጽ የአልማዝ መቁረጫ መሳሪያዎችን በመጠቀም ትክክለኛ የማሽን ሂደት እንደ ባህላዊ ቅርሶች መልሶ ማቋቋም ያህል ጊዜ ይወስዳል።
በአንድ ወቅት በአየር በረራ እና በወታደራዊ ኢንዱስትሪዎች ብቻ የተገደቡ ዘመናዊ ቁሳቁሶችን አሁን ዲጂታል ስልጣኔን የሚደግፉ መሠረታዊ አካላት እንዲሆኑ ያደረገው ይህ “የቁሳቁስ ሳይንስ + ትክክለኛ ማምረቻ” ድርብ ግኝት ነው።
በዛሬው የቺፕ ማምረቻ ሂደት፣ አካላዊ ገደብ ላይ በደረሰው፣ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ “ምንም ስምምነት” ሳይኖረው እውነተኛ ትክክለኛነት የውሂብ መደራረብ ሳይሆን የቁሳቁሶችን ይዘት መቆጣጠር መሆኑን ያረጋግጣል። እያንዳንዱ የሴራሚክ ክፍል በሚሊዮን የሚቆጠሩ የናኖስኬል እንቅስቃሴዎችን ተስፋ ሲሰጥ፣ የምናየው የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ዝግመተ ለውጥ ብቻ ሳይሆን የአንድ ሀገር ኢንዱስትሪ ወደ ትክክለኛነት ጫፍ ለመሸጋገር ያለውን ቁርጠኝነት ጭምር ነው።