នៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីសម្រាប់ផលិតបន្ទះឈីប កំហុសដែលមើលមិនឃើញអាចបំផ្លាញបន្ទះសៀគ្វីដែលមានតម្លៃរាប់លានដុល្លារ។ រាល់មីក្រូម៉ែត្រនៃការផ្លាស់ទីលំនៅនៅទីនេះគឺមានសារៈសំខាន់ចំពោះភាពជោគជ័យ ឬបរាជ័យនៃសៀគ្វីណាណូ ហើយស្នូលដែលគាំទ្រដល់របាំភាពជាក់លាក់នេះគឺជាតួឯករបស់យើងនៅសព្វថ្ងៃនេះ៖សម្ភារៈសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត– វាដូចជាកម្លាំងរក្សាស្ថេរភាពនៅក្នុងពិភពមីក្រូទស្សន៍ ដែលការពារខ្សែជីវិតដ៏ជាក់លាក់នៃឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រទំនើបនៅក្នុងបរិស្ថានធ្ងន់ធ្ងរ។
១. នៅពេលដែលសេរ៉ាមិចជួបនឹងបន្ទះសៀគ្វី៖ បញ្ហាប្រឈមចុងក្រោយក្នុងភាពត្រឹមត្រូវ
សមាសធាតុសេរ៉ាមិចដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីត្រូវដើរតួនាទីបីក្នុងពេលតែមួយ៖
មូលដ្ឋានមានស្ថេរភាពខ្លាំង៖ ទប់ទល់នឹងសម្ពាធច្រើនតោននៅពេលប៉ះពាល់ ប៉ុន្តែនៅតែមិនរើ។
ឆ្មាំសីតុណ្ហភាព៖ រក្សាស្ថេរភាពកម្ដៅក្រោមការឆក់កម្ដៅខ្ពស់នៃឡាស៊ែរ។
Vacuum Guardian៖ រក្សាភាពរាបស្មើកម្រិតអាតូមិចរយៈពេលដប់ឆ្នាំនៅក្នុងបរិយាកាសគ្មានរំញ័រ។
សម្ភារៈលោហៈបែបប្រពៃណីនឹងបង្កើតជា "ការរញ្ជួយតូចៗ" ដោយសារតែការពង្រីក និងការកន្ត្រាក់ដោយកម្ដៅ ខណៈពេលដែលសម្ភារៈប៉ូលីមែរពិបាកទប់ទល់នឹងការច្រេះប្លាស្មា។ សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃ ជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់តែមួយគត់របស់វា សម្រេចបាននូវតុល្យភាពដ៏ល្អឥតខ្ចោះនៅក្នុងភាពរឹង ចរន្តកម្ដៅ និងភាពធន់នឹងការខូចទ្រង់ទ្រាយ ដែលធ្វើឱ្យពួកវាក្លាយជាជម្រើសកំពូលសម្រាប់សមាសធាតុស្នូលនៃម៉ាស៊ីនបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី។
2. ភាពជាក់លាក់កម្រិតណាណូ 'អង្គរក្សមើលមិនឃើញ'
នៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីលំដាប់កំពូលដូចជា ASML នៅប្រទេសហូឡង់ NIKON និង CANON នៅប្រទេសជប៉ុន សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតកំពុងសរសេរឡើងវិញនូវច្បាប់នៃការផលិតដែលមានភាពជាក់លាក់៖
ដំណាក់កាលរបាំងមុខ៖ កាន់របាំងមុខដែលមានតម្លៃស្មើនឹងមាស ដោយរក្សាភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងកម្រិតណាណូម៉ែត្រក្នុងអំឡុងពេលចលនាល្បឿនលឿន។
ស្រទាប់កញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំងពន្លឺ៖ ភាពរដុបនៃផ្ទៃមានទំហំតូចខ្លាំងណាស់ រលោងជាងផ្ទៃកញ្ចក់ទៅទៀត។
បន្ទប់បូមធូលី៖ បន្ទាប់ពីប្រើប្រាស់បានដប់ឆ្នាំ ការខូចទ្រង់ទ្រាយគឺតិចជាងមួយភាគពាន់នៃសក់មនុស្ស
ស្ថេរភាពស្ទើរតែ 'ប្រឆាំងនឹងសុភវិនិច្ឆ័យ' នេះកើតចេញពីហ្សែនបីនៃវត្ថុធាតុស៊ីលីកុនកាប៊ីត៖
១. មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅខិតជិតសូន្យ៖ ស្ទើរតែជា "យុគសម័យកក" ពី -១៥០ ℃ ដល់ ៥០០ ℃
2. រឹងជាងដែកថែបបីដង៖ ធន់នឹងការខូចខាតមីក្រូទស្សន៍ដែលបណ្តាលមកពីការទម្លាក់គ្រាប់បែកភាគល្អិត
៣. លក្ខណៈរំអិលដោយខ្លួនឯង៖ សម្រេចបានការបញ្ជូនដ៏ច្បាស់លាស់ដោយគ្មានប្រេងក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាស
៣. «បដិវត្តន៍ស្ងាត់ៗ» នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ
នៅពេលដែលដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបចូលទៅក្នុងយុគសម័យ 2 ណាណូម៉ែត្រ សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតកំពុងទម្លុះដែនកំណត់កាន់តែច្រើន៖
តុការងារពីរ៖ អនុញ្ញាតឱ្យប្រព័ន្ធពីរបំពេញ "ការបញ្ជូនកម្រិតអាតូមិច" នៅក្នុងបរិយាកាសទំនេរ។
ប្រព័ន្ធផ្លូវអុបទិក EUV៖ ធន់នឹងការបាញ់ផ្លោងជាបន្តបន្ទាប់នៃពន្លឺអ៊ុលត្រាវីយូឡេខ្លាំង 13.5 nm។
ប្រព័ន្ធភ្ជាប់អ័ក្សច្រើន៖ សម្រេចបានជំហានណាណូមាត្រដ្ឋាន 200 ក្នុងមួយវិនាទីដោយមិនបង្កើតកំហុសកកកុញ។
ក្រុមស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វីជាក់លាក់មួយបានធ្វើតេស្តប្រៀបធៀប៖ បន្ទាប់ពីប្រើប្រាស់ដំណាក់កាលការងារសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត ភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំងប្រព័ន្ធត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង 40% ហើយវដ្តថែទាំឧបករណ៍ត្រូវបានពង្រីកពី 3 ខែទៅ 2 ឆ្នាំ។ ការផ្លាស់ប្តូរនេះមិនត្រឹមតែកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្មនៃបន្ទះឈីបប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែវាក៏នាំមកនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការផលិត "បន្ទះឈីបចិន" ទៅកាន់ជួរមុខនៃស្តង់ដារអន្តរជាតិជាលើកដំបូងផងដែរ។
៤. ផ្លូវឡើងភ្នំពីមន្ទីរពិសោធន៍ទៅកាន់ឧស្សាហូបនីយកម្ម
ការផលិតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃថ្នាក់លីតូក្រាហ្វីគឺដូចជាការកសាង «វិមានដ៏ល្អឥតខ្ចោះ» នៅក្នុងពិភពមីក្រូទស្សន៍៖
ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុធាតុដើម៖ ម្សៅស៊ីលីកុនកាប៊ីតសុទ្ធខ្លាំង បរិសុទ្ធជាងអំបិលដែលអាចបរិភោគបានរាប់ពាន់ដង។
ដំណើរការស៊ីនធើរ៖ ការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃទិសដៅលូតលាស់គ្រីស្តាល់នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
ការកែច្នៃដោយភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ដោយប្រើឧបករណ៍កាត់ពេជ្រសម្រាប់ការឆ្លាក់កម្រិតអនុមីក្រូនត្រូវការពេលវេលាច្រើនដូចការជួសជុលវត្ថុបុរាណវប្បធម៌ដែរ។
វាគឺជារបកគំហើញទ្វេភាគីនៃ “វិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ + ការផលិតដោយភាពជាក់លាក់” នេះហើយដែលបានធ្វើឱ្យសម្ភារៈទំនើបៗ ដែលធ្លាប់ត្រូវបានកំណត់ចំពោះឧស្សាហកម្មអាកាសចរណ៍ និងយោធា ឥឡូវនេះក្លាយជាសមាសធាតុមូលដ្ឋានដែលគាំទ្រដល់អរិយធម៌ឌីជីថល។
នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះឈីបសព្វថ្ងៃនេះ ដែលបានឈានដល់ដែនកំណត់រូបវន្ត សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតបានបង្ហាញឱ្យឃើញជាមួយនឹងលក្ខណៈ "ការសម្របសម្រួលសូន្យ" របស់វាថា ភាពជាក់លាក់ពិតប្រាកដមិនមែនជាការដាក់ជាស្រទាប់ៗនៃទិន្នន័យនោះទេ ប៉ុន្តែជាការគ្រប់គ្រងចុងក្រោយលើខ្លឹមសារនៃវត្ថុធាតុដើម។ នៅពេលដែលសមាសធាតុសេរ៉ាមិចនីមួយៗមានការសន្យានៃចលនាណាណូរាប់លាន អ្វីដែលយើងឃើញមិនត្រឹមតែការវិវត្តនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏ជាការប្តេជ្ញាចិត្តរបស់ឧស្សាហកម្មរបស់ប្រទេសជាតិក្នុងការឈានទៅរកកំពូលនៃភាពជាក់លាក់ផងដែរ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មេសា-០៣-២០២៥