N'ime igwe lithography maka imepụta chip, njehie a na-anaghị ahụ anya nwere ike ibibi wafers ruru nde dollar. Micromita ọ bụla nke mgbanwe ebe a dị oke mkpa maka ihe ịga nke ọma ma ọ bụ ọdịda nke sekit nanoscale, isi ihe na-akwado egwu ziri ezi a bụ onye isi anyị taa:ihe seramiiki silicon carbide– ọ dị ka ike na-eme ka ihe kwụsie ike n'ụwa a na-adịghị ahụ anya, na-echekwa usoro ndụ ziri ezi nke ụlọ ọrụ semiconductor nke oge a n'ebe dị oke njọ.
1, Mgbe seramiki zutere ibe: Ihe ịma aka kachasị na izi ezi
Akụkụ seramiiki ziri ezi nke igwe lithography kwesịrị ịrụ ọrụ atọ n'otu oge:
Ntọala siri ike nke ukwuu: ọ na-eguzogide ọtụtụ tọn nrụgide n'oge ekpughere ya mana ọ ka na-enweghị mmegharị ahụ.
Okpomọkụ Sentinel: na-eme ka okpomọkụ kwụsie ike n'okpuru oke okpomọkụ nke laser.
Onye Nche Vacuum: na-ejigide larịị nke ọkwa atọm ruo afọ iri n'ebe enweghị mkpọtụ.
Ihe ndị e ji ígwè mee n'oge ochie ga-emepụta "mkpọtụ dị nta" n'ihi mmụba okpomọkụ na mkpụmkpụ, ebe ihe ndị e ji ígwè rụọ siri ike iguzogide nchara plasma. Seramiki silikọn carbide, nke nwere usoro kristal pụrụ iche ha, na-enweta nguzozi zuru oke na ike, ike okpomọkụ, na iguzogide mgbanwe, na-eme ka ha bụrụ nhọrọ kachasị mma maka ihe ndị bụ isi nke igwe lithography.
2, nkenke ọkwa Nano 'onye nche a na-adịghị ahụ anya'
N'ime igwe lithography kachasị elu dịka ASML na Netherlands, NIKON na CANON na Japan, seramiiki silicon carbide na-edegharị iwu nke nrụpụta ziri ezi nwayọ:
Ogbo ihe mkpuchi ihu: ibu ihe mkpuchi ihu nke ruru ihe dịka ọlaedo, na-eme ka ọnọdụ nanometer dị mma n'oge mmegharị ọsọ dị elu.
Ihe e ji enyo na-atụgharị uche: Ọdịdị elu ya pere mpe nke ukwuu, ọbụna dị nro karịa elu enyo.
Ụlọ nchacha ntutu: Mgbe afọ iri nke ojiji gasịrị, mgbanwe ahụ erughi otu puku ụzọ n'ụzọ anọ nke ntutu mmadụ
Nkwụsi ike a nke fọrọ nke nta ka ọ bụrụ 'mmetụta uche na-adịghị mma' sitere na mkpụrụ ndụ ihe nketa atọ nke ihe silicon carbide:
1. Ọnụọgụ nke mgbasawanye okpomọkụ na-eru nso efu: ihe fọrọ nke nta ka ọ bụrụ "afọ oyi" site na -150 ℃ ruo 500 ℃
2. Ugboro atọ siri ike karịa ígwè: ọ na-eguzogide mmebi dị nta nke sitere na bọmbụ ihe ndị na-adịghị arụ ọrụ nke ukwuu.
3. Njirimara nke itinye mmanụ n'ahụ onwe: Nweta nnyefe ziri ezi na-enweghị mmanụ n'ime gburugburu ebe ikuku na-adịghị
3, 'Mgbanwe gbachiri nkịtị' na ụlọ ọrụ semiconductor
Ka usoro mmepụta mgbawa na-abanye n'oge 2-nanometer, seramiiki silicon carbide na-agafe ókè ndị ọzọ:
Tebụl ọrụ abụọ: na-enye ohere ka sistemụ abụọ mezue "njikwa ọkwa atọm" n'ime gburugburu oghere.
Sistemụ ụzọ anya EUV: na-eguzogide ogbunigwe na-aga n'ihu nke ìhè ultraviolet dị oke njọ nke 13.5nm.
Sistemụ njikọ dị iche iche: iru usoro nanoscale 200 kwa sekọnd na-enweghị mmejọ mkpokọta.
Otu ndị otu nyocha na nhazi igwe lithography emeela ule ntụnyere: mgbe ha jirichara usoro ọrụ seramiiki silicon carbide, izi ezi nke nhazi sistemụ ahụ amụbaala site na 40%, a gbatịkwara usoro mmezi akụrụngwa site na ọnwa 3 ruo afọ 2. Mgbanwe a abụghị naanị na ọ na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta nke chips, kamakwa ọ na-eweta izi ezi nke mmepụta nke "chips China" n'ọkwa mba ụwa maka oge mbụ.
4, Ụzọ ịrịgo site na ụlọ nyocha ruo na mmepụta ihe
Imepụta seramiiki silicon carbide nke ọkwa lithography dị ka iwuli 'obí na-enweghị ntụpọ' n'ụwa a na-ahụ anya:
Ịdị ọcha nke ihe ndị e ji emepụta ihe: Ntụ ntụ silicon carbide dị ọcha nke ukwuu, nke dị ọcha karịa nnu a na-eri eri ugboro puku kwuru puku.
Usoro nhicha: njikwa ziri ezi nke ntụziaka uto kristal na oke okpomọkụ.
Ịkpụzi ihe nke ọma site na iji ngwaọrụ ịkpụ dayamọnd maka ịkpụ ihe n'ọkwa dị ala nke obere micron na-ewe oge dị ka imezi ihe ochie omenala.
Ọ bụ ihe ọhụrụ a nke "nrụpụta sayensị ihe na nkenke" mere ka ihe ndị dị ọhụrụ, nke a na-ejikarị eme ihe n'ihe gbasara ụgbọelu na agha, ghọọzi ihe ndị bụ isi na-akwado mmepeanya dijitalụ.
N'usoro mmepụta chip nke taa, nke erutela oke anụ ahụ, seramiiki silicon carbide na-egosi site na njirimara "enweghị nkwekọrịta" ya na ezi nkenke abụghị nchịkọta data, kama ọ bụ njikwa kachasị na isi ihe dị na ihe. Mgbe akụkụ seramiiki ọ bụla nwere nkwa nke ọtụtụ nde mmegharị nanoscale, ihe anyị na-ahụ abụghị naanị mgbanwe nke ngwaọrụ semiconductor, kamakwa mkpebi nke ụlọ ọrụ mba iji gaa n'ọkwa kachasị elu nke nkenke.
Oge ozi: Eprel-03-2025