Mechining ea lithography bakeng sa tlhahiso ea li-chip, phoso e sa bonahaleng e ka senya li-wafer tse jang limilione tsa lidolara. Micrometer e 'ngoe le e 'ngoe ea ho falla mona e bohlokoa bakeng sa katleho kapa ho hloleha ha lipotoloho tsa nanoscale, 'me motheo o tšehetsang motjeko ona o nepahetseng ke mohale oa rona kajeno:thepa ea ceramic ea silicon carbide– e tšoana le matla a tsitsitseng lefatšeng le sa bonahaleng haholo, a sireletsang mohala o nepahetseng oa indasteri ea sejoale-joale ea li-semiconductor libakeng tse feteletseng.
1, Ha Li-ceramics li Kopana le Li-chips: Phephetso e Felletseng ka ho Nepahala
Likarolo tsa letsopa tse nepahetseng tsa mechine ea lithography li hloka ho bapala likarolo tse tharo ka nako e le 'ngoe:
Motheo o tsitsitseng haholo: o mamella khatello e boima ba lithane tse 'maloa nakong ea ho pepesehela empa o lula o sa sisinyehe.
Mohlokomeli oa mocheso: o boloka botsitso ba mocheso tlas'a ho thothomela ho matla ha mocheso oa laser.
Mohlokomeli oa Vacuum: o boloka boemo ba athomo bo bataletse ka lilemo tse leshome tikolohong e se nang ho thothomela.
Lisebelisoa tsa tšepe tsa setso li tla hlahisa "litšisinyeho tse nyane" ka lebaka la katoloso le ho honyela ha mocheso, ha thepa ea polymer e le thata ho e hanela ho bola ha plasma. Li-ceramic tsa silicon carbide, tse nang le sebopeho sa tsona se ikhethang sa kristale, li fihlella tekano e phethahetseng ho thatafaleng, ho khanna ha mocheso le ho hanyetsa ho fetoha ha sebopeho, e leng se etsang hore e be khetho e holimo bakeng sa likarolo tsa mantlha tsa mechini ea lithography.
2, 'molebeli ea sa bonahaleng' ea boemo ba Nano ka nepo
Mechineng e holimo ea lithography e kang ASML Netherlands, NIKON le CANON Japane, liserami tsa silicon carbide li ngola bocha ka lenyele melao ea tlhahiso e nepahetseng:
Mokhahlelo oa maske: ho jara maske ea photomask e boleng bo lekanang le khauta, ho boloka ho nepahala ha boemo ba nanometer nakong ea motsamao o lebelo le phahameng.
Karolo e bonahatsang seipone: Ho ba le makukuno a bokaholimo ho bonyenyane haholo, ho boreleli le ho feta bokaholimo ba seipone.
Kamore ea vacuum: Kamora lilemo tse leshome tsa tšebeliso, phetoho e ka tlase ho karolo ea sekete ea moriri oa motho
Botsitso bona bo batlang bo le "khahlanong le kelello e tloaelehileng" bo hlaha ho tsoa liphatseng tse tharo tsa thepa ea silicon carbide:
1. Palo e lekanang ea katoloso ea mocheso e atamela lefela: hoo e ka bang "lilemo tse hoamisitsoeng" ho tloha ho -150 ℃ ho isa ho 500 ℃
2. Ho thata hararo ho feta tšepe: ho hanela tšenyo e nyenyane e bakoang ke ho phatloha ha likaroloana
3. Litšobotsi tsa ho itlotsa: Finyella phetiso e nepahetseng ntle le oli tikolohong ea vacuum
3, 'Phetohelo e khutsitseng' indastering ea semiconductor
Ha ts'ebetso ea tlhahiso ea li-chip e kena mehleng ea li-nanometer tse 2, li-ceramic tsa silicon carbide li ntse li feta meeling e mengata:
Tafole e sebetsang habeli: e lumella litsamaiso tse peli ho phethela "phetolelo ea boemo ba athomo" tikolohong ea vacuum.
Sistimi ea tsela ea mahlo ea EUV: e hanela ho phatloha ho tsoelang pele ha khanya e feteletseng ea ultraviolet ea 13.5nm.
Sistimi ea khokahano ea li-axis tse ngata: ho fihlella mehato ea nanoscale e 200 ka motsotsoana ntle le ho hlahisa liphoso tse kopaneng.
Sehlopha se itseng sa R&D sa mochini oa lithography se entse liteko tsa ho bapisa: kamora ho sebelisa sethala sa mosebetsi oa ceramic oa silicon carbide, ho nepahala ha ho beha sistimi ho ntlafalitsoe ka 40%, 'me potoloho ea tlhokomelo ea lisebelisoa e atolositsoe ho tloha likhoeling tse 3 ho isa ho lilemo tse 2. Phetoho ena ha e fokotse litšenyehelo tsa tlhahiso ea li-chips feela, empa hape e tlisa ho nepahala ha tlhahiso ea "li-chips tsa Sechaena" pele ho litekanyetso tsa machaba ka lekhetlo la pele.
4, Tsela ea ho hloa ho tloha laboratoring ho ea indastering
Ho etsa li-ceramic tsa silicon carbide tsa sehlopha sa lithography ho tšoana le ho haha 'ntlo ea borena e se nang sekoli' lefatšeng le sa bonahaleng haholo:
Bohloeki ba thepa e tala: Phofo ea silicon carbide e hloekileng haholo, e hloekile ka makhetlo a likete ho feta letsoai le jeoang.
Ts'ebetso ea ho sila: taolo e nepahetseng ea tataiso ea kholo ea kristale mochesong o phahameng.
Ho sebetsa ka ho nepahala ho sebedisa disebediswa tsa ho seha taemane bakeng sa ho betla ka tekanyo ya sub micron ho nka nako e lekanang le tsosoloso ya masalla a setso.
Ke tswelopele ena e habeli ya "saense ya thepa + tlhahiso e nepahetseng" e entseng hore thepa ya sejoale-joale, eo pele e neng e lekanyeditswe diindastering tsa difofane le tsa sesole, jwale e be dikarolo tsa motheo tse tshehetsang tsoelopele ya dijithale.
Mokgweng wa kajeno wa tlhahiso ya ditshipi, o fihletseng moedi wa mmele, diserame tsa silicon carbide di paka ka dibopeho tsa tsona tsa "ho se lumellane le letho" hore ho nepahala ha nnete ha se ho bokellana ha data, empa ke taolo e feletseng hodima bohlokwa ba thepa. Ha karolo e nngwe le e nngwe ya ceramic e na le tshepiso ya dimilione tsa metsamao ya nanoscale, seo re se bonang ha se feela ho iphetola ha disebediswa tsa semiconductor, empa hape le boikemisetso ba indasteri ya naha ho ya sehlohlolong sa ho nepahala.
Nako ea poso: Mmesa-03-2025