I roto i nga miihini lithography mo te hanga maramara, he hapa e kore e kitea ka taea te whakangaro i nga wafers e hia miriona taara te utu. Ko nga micrometer katoa o nga nekehanga i konei he mea nui ki te angitu, ki te kore ranei o nga iahiko nanoscale, a ko te kaupapa matua e tautoko ana i tenei kanikani tika ko to tatou kaitoi i enei ra:hiako carbide rauemi uku- he rite ki te kaha whakapumau i roto i te ao miihini, e tiaki ana i te tino ora o te ahumahi semiconductor hou i roto i nga taiao tino nui.
1、 Ina Tutaki nga Karaima ki nga Tipi: He Wero Whakamutunga mo te Tika
Ko nga waahanga uku o nga miihini lithography e tika ana kia toru nga mahi i te wa kotahi:
Te turanga tino pumau: ka mau ki te maha o te pehanga i te wa e puta ana engari ka noho kore e neke.
Te Waahanga Kaitiaki: ka mau tonu te waiariki i raro i te wiariki teitei o te taiaho.
Korehau Kaitiaki: ka pupuri i te papatahi taumata ngota mo te tekau tau i roto i te taiao kore wiri.
Ko nga taonga whakarewa tawhito ka puta he "wiri moroiti" na te toronga o te waiariki me te whakaheke, engari he uaua nga rauemi polymer ki te aukati i te waikura plasma. Ko nga karamu Silicon carbide, me o raatau hanganga karaihe ahurei, ka tutuki i te taurite tino pai i roto i te pakeke, te kawe waiariki, me te aukati rerekee, ka waiho hei whiringa pai mo nga waahanga matua o nga miihini lithography.
2, Nano taumata tika 'kaitiaki kore kitea'
I roto i nga miihini tuhi paparangi teitei penei i te ASML i Netherlands, NIKON me CANON i Hapani, kei te ata tuhi ano nga karamu karamu silicon carbide i nga ture mo te hanga tika:
Te atamira kanohi: te kawe i te kaarei whakaahua he rite te utu ki te koura, kia mau tonu te tika o te tuunga o te nanometer i te waa tere tere.
Tïpako whakaata whakaata: He iti rawa te taratara o te mata, he maeneene ake i te mata whakaata.
Te ruma korehau: I muri i te tekau tau o te whakamahi, he iti iho i te kotahi mano o te makawe tangata te deformation
I ahu mai tenei ira tata 'anti common sense' i nga ira takitoru o nga rawa carbide silicon:
1. Ko te whakarea o te roha waiariki ka tata ki te kore: tata ki te "tio matao" mai i te -150 ℃ ki te 500 ℃
2. E toru nga wa uaua atu i te rino: he atete ki te kino moroiti na te pupuhi matūriki
3. Nga ahuatanga whakahinuhinu whaiaro: Tutuki te tuku hinu-kore i roto i te taiao korehau
3、 Ko te 'huringa puku' i roto i te ahumahi semiconductor
I te wa e uru ana te mahi hanga maramara ki te waa 2-nanometer, kei te pakaru atu nga karaehe carbide silicon:
Te ripanga mahi rua: ka taea e rua nga punaha ki te whakaoti i te "tainga taumata ngota" i roto i te taiao korehau.
Pūnaha ara whatu EUV: ātete ki te pupuhi tonu o te 13.5nm rama ultraviolet tino.
Pūnaha hononga tuaka maha: ka eke ki te 200 nga hikoi nanoscale mo ia hekona me te kore e whakaputa hapa whakahiato.
Kua whakahaerea e tetahi roopu R&D mihini tuhi tuhi nga whakamatautau whakatairite: i muri i te whakamahi i te atamira mahi karaima silicon carbide, kua pai ake te tika o te tuunga o te punaha ma te 40%, a kua roa te huringa tiaki taputapu mai i te 3 marama ki te 2 tau. Ko tenei huringa kaore i te whakaiti noa i te utu hanga o nga maramara, engari ka kawe mai ano i te tika o te hangahanga o "kirikiri Hainamana" ki mua i nga paerewa o te ao mo te wa tuatahi.
4、 Te ara piki mai i te taiwhanga ki te ahumahi
He rite ki te hanga i tetahi 'whare kohakore' i roto i te ao moroiti:
Te parakore o nga rawa: Te paura parakore silicon carbide, he mano nga wa te parakore ake i te tote kai.
Te tukanga whakahiato: te whakahaere tika i te ahunga tipu o te karaihe i nga wera teitei.
Ko te mahi miihini tika ma te whakamahi i nga taputapu tapahi taimana mo te whakairo taumata micron he roa te wa e rite ana ki te whakahoki mai i nga tikanga.
Koinei te wahanga rua o te "hangaiao rauemi + hanga tika" i hanga i nga rawa o mua, he mea iti noa ki te aerospace me nga umanga hoia, inaianei kua noho hei waahanga matua e tautoko ana i te ao mamati.
I roto i nga mahi hanga maramara o tenei ra, kua eke ki te rohe o te tinana, ka whakaatuhia e nga karamu carbide silicon me ona ahuatanga "kore whakaraerae" ko te tino tika ehara i te kopae o nga raraunga, engari ko te mana nui ki te mauri o nga rawa. I te wa e mau ana i nga waahanga miihini katoa te oati mo nga miriona nekehanga nanoscale, ko ta matou e kite ana ehara i te mea ko te whanaketanga o nga taputapu semiconductor anake, engari ko te whakatau o te umanga a tetahi iwi ki te neke ki te tihi o te tino tika.
Wā tuku: Apr-03-2025