ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရေးအတွက် လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များတွင် မမြင်ရသောအမှားတစ်ခုသည် ဒေါ်လာသန်းပေါင်းများစွာတန်ဖိုးရှိသော ဝေဖာများကို ပျက်စီးစေနိုင်သည်။ ဤနေရာတွင် ရွှေ့ပြောင်းမှု၏ မိုက်ခရိုမီတာတိုင်းသည် နာနိုစကေးဆားကစ်များ၏ အောင်မြင်မှု သို့မဟုတ် ကျရှုံးမှုအတွက် အရေးပါပြီး ဤတိကျသောအကကို ပံ့ပိုးပေးသော အဓိကအချက်မှာ ယနေ့ခေတ် ကျွန်ုပ်တို့၏ အဓိကဇာတ်ကောင်ဖြစ်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်ပစ္စည်း– ၎င်းသည် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော ကမ္ဘာတွင် တည်ငြိမ်စေသော အားတစ်ခုကဲ့သို့ဖြစ်ပြီး၊ အလွန်အမင်းပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်း၏ တိကျသောအသက်ကယ်ကြိုးကို စောင့်ကြပ်ပေးပါသည်။
၁။ ကြွေထည်များနှင့် ချစ်ပ်များတွေ့ဆုံသောအခါ- တိကျမှုဆိုင်ရာ အဆုံးစွန်သောစိန်ခေါ်မှု
လစ်သရိုဂရပ်ဖီစက်များ၏ တိကျသော ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများသည် တစ်ပြိုင်နက်တည်း အခန်းကဏ္ဍသုံးခုမှ ပါဝင်ရန် လိုအပ်သည်-
အလွန်တည်ငြိမ်သော အောက်ခြေ- ထိတွေ့ချိန်တွင် ဖိအားတန်ချိန်များစွာကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော်လည်း မလှုပ်ရှားပါ။
အပူချိန်စောင့်ကြည့်ကိရိယာ- လေဆာ၏ မြင့်မားသော အပူရှော့ခ်အောက်တွင် အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းပေးသည်။
Vacuum Guardian: တုန်ခါမှုသုညပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဆယ်နှစ်ကြာ အက်တမ်အဆင့် ပြားချပ်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားပေးသည်။
ရိုးရာသတ္တုပစ္စည်းများသည် အပူချဲ့ထွင်ခြင်းနှင့် ကျုံ့ခြင်းကြောင့် "အသေးစားတုန်ခါမှုများ" ကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ပိုလီမာပစ္စည်းများသည် ပလာစမာချေးခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိရန် ခက်ခဲပါသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် ၎င်းတို့၏ထူးခြားသော ပုံဆောင်ခဲဖွဲ့စည်းပုံဖြင့် မာကျောမှု၊ အပူစီးကူးမှုနှင့် ပုံပျက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်တို့တွင် ပြီးပြည့်စုံသောဟန်ချက်ညီမှုကို ရရှိစေပြီး လစ်သရိုဂရပ်ဖီစက်များ၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းများအတွက် ထိပ်တန်းရွေးချယ်မှုဖြစ်စေသည်။
၂။ နာနိုအဆင့် တိကျမှု 'မမြင်ရသော ကိုယ်ရံတော်'
နယ်သာလန်နိုင်ငံရှိ ASML၊ ဂျပန်နိုင်ငံရှိ NIKON နှင့် CANON ကဲ့သို့သော ထိပ်တန်း လစ်သိုဂရပ်ဖီစက်များတွင် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် တိကျသောထုတ်လုပ်မှု၏ စည်းမျဉ်းများကို တိတ်တဆိတ်ပြန်လည်ရေးသားနေကြသည်-
မျက်နှာဖုံးအဆင့်- ရွှေနှင့်ညီမျှသော တန်ဖိုးရှိသော ဓာတ်ပုံမျက်နှာဖုံးကို သယ်ဆောင်ထားပြီး၊ မြန်နှုန်းမြင့်လှုပ်ရှားမှုအတွင်း နာနိုမီတာအဆင့် တည်နေရာတိကျမှုကို ထိန်းသိမ်းထားခြင်း။
ရောင်ပြန်ဟပ်သော မှန်အလွှာ- မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှုသည် အလွန်သေးငယ်ပြီး မှန်မျက်နှာပြင်ထက်ပင် ချောမွေ့သည်။
ဖုန်စုပ်ခန်း- ဆယ်နှစ်ကြာအသုံးပြုပြီးနောက် ပုံပျက်သွားခြင်းသည် လူ့ဆံပင်၏ တစ်ထောင်ပုံတစ်ပုံထက်နည်းပါသည်။
ဤ 'ဘုံအသိနှင့် ဆန့်ကျင်ဘက်' တည်ငြိမ်မှုသည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများ၏ မျိုးဗီဇသုံးမျိုးမှ ပေါက်ဖွားလာခြင်းဖြစ်သည်-
၁။ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းသည် သုညသို့ ချဉ်းကပ်သည်- -၁၅၀ ℃ မှ ၅၀၀ ℃ အထိ “အေးခဲနေသောခေတ်” နီးပါးဖြစ်သည်
၂။ သံမဏိထက် သုံးဆပိုမိုခိုင်မာသည်- အမှုန်အမွှားများ ကျရောက်မှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော ပျက်စီးမှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်
၃။ ကိုယ်တိုင်ချောဆီလိမ်းခြင်း ဝိသေသလက္ခဏာများ- လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဆီမပါသော တိကျသော ဂီယာပြောင်းခြင်းကို ရယူပါ။
၃။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ငန်းတွင် 'တိတ်ဆိတ်သောတော်လှန်ရေး'
ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် ၂-နာနိုမီတာခေတ်သို့ ဝင်ရောက်လာသည်နှင့်အမျှ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် ကန့်သတ်ချက်များကို ပိုမိုချိုးဖောက်လာပါသည်။
နှစ်ထပ်အလုပ်လုပ်စားပွဲ- စနစ်နှစ်ခုသည် လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် “အက်တမ်အဆင့် ဆင့်လွှင့်ခြင်း” ကို ပြီးမြောက်အောင် လုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။
EUV optical path system: 13.5nm အစွန်းရောက်ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်၏ စဉ်ဆက်မပြတ်ဗုံးကြဲတိုက်ခိုက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဝင်ရိုးများစွာ ချိတ်ဆက်မှုစနစ်- စုပေါင်းအမှားအယွင်းများ မဖြစ်ပေါ်စေဘဲ တစ်စက္ကန့်လျှင် နာနိုစကေးအဆင့် ၂၀၀ ကို ရရှိစေခြင်း။
လစ်သိုဂရပ်ဖီစက် သုတေသနနှင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ရေးအဖွဲ့တစ်ခုသည် နှိုင်းယှဉ်စမ်းသပ်မှုများ ပြုလုပ်ခဲ့သည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်အပိုင်းအစအဆင့်ကို အသုံးပြုပြီးနောက် စနစ်တည်နေရာတိကျမှုကို ၄၀% မြှင့်တင်ပေးခဲ့ပြီး စက်ပစ္စည်းပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစက်ဝန်းကို ၃ လမှ ၂ နှစ်အထိ တိုးမြှင့်ခဲ့သည်။ ဤပြောင်းလဲမှုသည် ချစ်ပ်များ၏ ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချပေးရုံသာမက “တရုတ်ချစ်ပ်များ” ၏ ထုတ်လုပ်မှုတိကျမှုကို နိုင်ငံတကာစံနှုန်းများ၏ ရှေ့တန်းသို့ ပထမဆုံးအကြိမ် ရောက်ရှိစေခဲ့သည်။
၄။ ဓာတ်ခွဲခန်းမှ စက်မှုထွန်းကားရေးသို့ တက်လှမ်းခြင်းလမ်းကြောင်း
လစ်သိုဂရပ်ဖီအဆင့် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များ ထုတ်လုပ်ခြင်းသည် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော ကမ္ဘာတွင် 'အပြစ်အနာအဆာကင်းသော နန်းတော်' တစ်ခု တည်ဆောက်ခြင်းနှင့် တူပါသည်။
ကုန်ကြမ်းပစ္စည်းသန့်စင်မှု- အလွန်သန့်စင်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အမှုန့်၊ စားသုံးနိုင်သောဆားထက် ထောင်ပေါင်းများစွာ ပိုမိုသန့်စင်သည်။
Sintering လုပ်ငန်းစဉ်- မြင့်မားသောအပူချိန်များတွင် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုဦးတည်ချက်ကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်း။
မိုက်ခရွန်အောက်အဆင့် ထွင်းထုရန်အတွက် စိန်ဖြတ်တောက်သည့်ကိရိယာများကို အသုံးပြု၍ တိကျစွာ စက်ဖြင့်ပြုပြင်ခြင်းသည် ယဉ်ကျေးမှုအမွေအနှစ်များ ပြန်လည်ထိန်းသိမ်းခြင်းကဲ့သို့ပင် အချိန်များစွာကြာပါသည်။
တစ်ချိန်က အာကာသနှင့် စစ်ဘက်ဆိုင်ရာ လုပ်ငန်းများအတွက်သာ ကန့်သတ်ထားသည့် ခေတ်မီပစ္စည်းများကို ယခုအခါ ဒစ်ဂျစ်တယ်ယဉ်ကျေးမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အခြေခံအစိတ်အပိုင်းများ ဖြစ်လာစေသည်မှာ “ပစ္စည်းသိပ္ပံ + တိကျစွာ ထုတ်လုပ်ခြင်း” ၏ နှစ်ထပ်တိုးတက်မှုပင် ဖြစ်ပါသည်။
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အကန့်အသတ်သို့ ရောက်ရှိနေပြီဖြစ်သော ယနေ့ခေတ် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်များသည် ၎င်း၏ “သုညအလျှော့ပေးမှု” ဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့် စစ်မှန်သောတိကျမှုသည် ဒေတာများကို စုပုံခြင်းမဟုတ်ဘဲ ပစ္စည်းများ၏ အနှစ်သာရကို အဆုံးစွန်ထိန်းချုပ်ခြင်းဖြစ်ကြောင်း သက်သေပြနေပါသည်။ ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းတိုင်းတွင် နာနိုစကေးလှုပ်ရှားမှု သန်းပေါင်းများစွာ၏ ကတိကဝတ်များကို သယ်ဆောင်လာသောအခါ၊ ကျွန်ုပ်တို့မြင်တွေ့ရသည်မှာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏ ဆင့်ကဲဖြစ်စဉ်သာမက တိကျမှု၏ အထွတ်အထိပ်သို့ ရောက်ရှိရန် နိုင်ငံ၏စက်မှုလုပ်ငန်း၏ ဆုံးဖြတ်ချက်ကိုပါ မြင်တွေ့ရပါသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၃ ရက်