Mashiinnada lithography-ga ee loogu talagalay soo saarista jajabyada, qalad aan la arki karin ayaa burburin kara waferada qiimahoodu yahay malaayiin doolar. Micrometer kasta oo barokac ah halkan waa mid muhiim u ah guusha ama guuldarada wareegyada nanoscale, xudunta taageerta qoob-ka-ciyaarkan saxda ah waa jilaageenna maanta:walxaha dhoobada ee silikoon carbide- waxay la mid tahay awood xasilinaysa adduunka yar yar, oo ilaalinaysa khadka saxda ah ee warshadaha semiconductor-ka casriga ah ee ku jira jawi aad u daran.
1, Marka Dhoobada La Kulmo Jibisyada: Caqabadda Ugu Dambeysa ee Saxnaanta
Qaybaha saxda ah ee dhoobada ee mashiinnada lithography waxay u baahan yihiin inay ciyaaraan saddex door isku mar:
Saldhig aad u deggan: wuxuu u adkeystaa dhowr tan oo cadaadis ah xilliga la soo bandhigo laakiin wuxuu ahaanayaa mid aan dhaqdhaqaaq lahayn.
Ilaaliyaha heerkulka: wuxuu ilaaliyaa xasilloonida kulaylka marka la eego shoogga kulaylka sare ee laysarka.
Ilaaliyaha Faakuumka: wuxuu ilaaliyaa fidsanaanta heerka atomiga muddo toban sano ah jawi aan gariir lahayn.
Qalabka birta dhaqameedku wuxuu soo saari doonaa "gariir yar" sababtoo ah ballaarinta kulaylka iyo isku-soo-ururinta, halka walxaha polymer-ka ay adag tahay in laga hortago daxalka balaasmaha. Dhoobada silikoon carbide, oo leh qaab-dhismeedkooda gaarka ah ee kiristaalka, waxay gaaraan dheelitirnaan qumman oo ku saabsan adkaanta, kulaylka, iyo iska caabbinta isbeddelka, taasoo ka dhigaysa doorashada ugu sarreysa ee qaybaha asaasiga ah ee mashiinnada lithography.
2, heerka Nano saxnaanta 'ilaaliyaha aan la arki karin'
Mashiinnada lithography-ga ee heerka sare ah sida ASML ee Nederland, NIKON iyo CANON ee Japan, dhoobada silicon carbide ayaa si aamusnaan ah dib ugu qoraysa xeerarka wax soo saarka saxda ah:
Marxaladda maaskarada: sidda maaskaro sawireed oo qiimaheedu la mid yahay dahabka, iyadoo la ilaalinayo saxnaanta booska nanometer-ka inta lagu jiro dhaqdhaqaaqa xawaaraha sare.
Muraayadda milicsiga leh: Qalafsanaanta dusha sare aad bay u yar tahay, xitaa way ka siman tahay dusha muraayadda.
Qolka faakuumka: Ka dib toban sano oo la isticmaalay, isbeddelka timaha bini'aadamka wuxuu ka yar yahay kun meelood meel
Deganaanshahan ku dhawaad 'caqliga caadiga ah' wuxuu ka yimid saddex-gene oo ka mid ah walxaha carbide-ka silicon:
1. Isugeynta ballaarinta kulaylka waxay ku dhowdahay eber: ku dhawaad "da'da barafaysan" laga bilaabo -150 ℃ ilaa 500 ℃
2. Saddex jibaar ka adag birta: u adkaysta waxyeelada yar yar ee ka dhalata duqeynta walxaha
3. Astaamaha is-saliidda: Ku guuleyso gudbinta saxda ah ee aan saliid lahayn jawi faaruq ah
3, 'Kacaankii aamusnaa' ee warshadaha semiconductor-ka
Maadaama habka wax soo saarka jajabku uu galo xilligii 2-nanometer, dhoobada silicon carbide waxay jebinaysaa xadad badan:
Jadwalka shaqada ee laba-geesoodka ah: wuxuu u oggolaanayaa laba nidaam inay ku dhammaystiraan "wareejinta heerka atomiga" jawi faaruq ah.
Nidaamka wadada indhaha ee EUV: u adkaysta duqaynta joogtada ah ee iftiinka ultraviolet-ka ee aadka u daran ee 13.5nm.
Nidaamka isku xirka dhidibka badan: gaarista 200 oo tallaabo nanoscale ilbiriqsi kasta iyada oo aan la soo saarin khaladaad isugeyn ah.
Koox cilmi-baaris iyo horumarin ah oo mashiin lithography ah ayaa sameeyay tijaabooyin isbarbardhig ah: ka dib markii la isticmaalay marxaladda shaqada dhoobada ah ee silicon carbide, saxnaanta meelaynta nidaamka ayaa la hagaajiyay 40%, wareegga dayactirka qalabkana waxaa laga kordhiyay 3 bilood ilaa 2 sano. Isbeddelkani ma aha oo kaliya inuu yareeyo kharashka wax soo saarka ee jajabyada, laakiin sidoo kale wuxuu saxnaanta wax soo saarka ee "jabyada Shiinaha" keenayaa safka hore ee heerarka caalamiga ah markii ugu horreysay.
4, Waddada fuulitaanka laga bilaabo shaybaarka ilaa warshadaynta
Soo saarista dhoobada carbide-ka ee heerka lithography waxay la mid tahay dhisidda 'qasri aan cillad lahayn' adduunka yar yar:
Nadiifnimada walxaha ceeriin ah: Budada carbide-ka silicon ee aadka u saafiga ah, kumanaan jeer ka saafisan milixda la cuni karo.
Habka sifeynta: xakamaynta saxda ah ee jihada koritaanka kiristaalka heerkulka sare.
Mashiinka saxda ah ee loo adeegsado qalabka jarista dheemanka ee xardho heer hoose ah wuxuu qaataa waqti badan sida soo celinta dhaqanka.
Waa laba guulood oo "sayniska agabka iyo wax soo saarka saxda ah" oo ka dhigay agabka casriga ah, oo markii hore ku koobnaa warshadaha hawada sare iyo militariga, inay hadda noqdaan qaybaha aasaasiga ah ee taageeraya ilbaxnimada dijitaalka ah.
Habka wax soo saarka chip-ka ee maanta, kaas oo gaaray xadka jireed, dhoobada silicon carbide waxay ku caddaysay astaamo "is-afgarad la'aan" in saxnaanta dhabta ahi aysan ahayn is-ururinta xogta, laakiin ay tahay xakamaynta ugu dambeysa ee nuxurka agabka. Marka qayb kasta oo dhoobo ah ay leedahay ballanqaadka malaayiin dhaqdhaqaaq nanoscale ah, waxa aan aragno ma aha oo kaliya horumarka qalabka semiconductor-ka, laakiin sidoo kale go'aaminta warshadaha qaran si ay ugu gudbaan heerka ugu sarreeya ee saxnaanta.
Waqtiga boostada: Abriil-03-2025