مائڪرو ورلڊ جو پوشيده مجسمو: ڪيئن سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس چپ جي پيداوار ۾ درستگي جي چوٽي کي برقرار رکن ٿا

چپ ٺاهڻ لاءِ لٿوگرافي مشينن ۾، هڪ پوشيده غلطي لکين ڊالرن جي ويفرز کي تباهه ڪري سگهي ٿي. هتي هر مائڪرو ميٽر جي بي گھرڻ نانو اسڪيل سرڪٽ جي ڪاميابي يا ناڪامي لاءِ اهم آهي، ۽ ڪور جيڪو هن درستگي واري ناچ جي حمايت ڪري ٿو اهو اڄ اسان جو مکيه ڪردار آهي:سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ مواد- اهو خوردبيني دنيا ۾ هڪ مستحڪم قوت وانگر آهي، انتهائي ماحول ۾ جديد سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري جي درست زندگي جي حفاظت ڪري ٿو.
1، جڏهن سيرامڪس چپس سان ملن ٿا: درستگي ۾ هڪ آخري چئلينج
لٿوگرافي مشينن جي درست سيرامڪ حصن کي هڪ ئي وقت ٽي ڪردار ادا ڪرڻ جي ضرورت آهي:
الٽرا اسٽيبل بيس: نمائش جي وقت ڪيترن ئي ٽن دٻاءُ کي برداشت ڪري ٿو پر بي حرڪت رهي ٿو.
گرمي پد سينٽرل: ليزر جي تيز حرارتي جھٽڪي هيٺ حرارتي استحڪام برقرار رکي ٿو.
ويڪيوم گارڊين: صفر وائبريشن واري ماحول ۾ ڏهه سالن تائين ايٽمي سطح جي همواريت برقرار رکي ٿو.
روايتي ڌاتو مواد حرارتي توسيع ۽ سنکنرن جي ڪري "مائڪرو ٽرمرز" پيدا ڪندا، جڏهن ته پوليمر مواد پلازما سنکنرن جي مزاحمت ڪرڻ ڏکيو آهي. سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪس، پنهنجي منفرد ڪرسٽل structure سان، سختي، حرارتي چالکائي، ۽ خرابي جي مزاحمت ۾ هڪ مڪمل توازن حاصل ڪن ٿا، انهن کي لٿوگرافي مشينن جي بنيادي حصن لاءِ مٿين پسند بڻائين ٿا.
2، نانو ليول جي درستگي 'پوشیدہ محافظ'
اعليٰ درجي جي لٿوگرافي مشينن جهڙوڪ هالينڊ ۾ ASML، جاپان ۾ NIKON ۽ CANON ۾، سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس خاموشي سان درستگي جي پيداوار جي ضابطن کي ٻيهر لکي رهيا آهن:
ماسڪ اسٽيج: سون جيتري قيمت وارو فوٽو ماسڪ کڻڻ، تيز رفتار حرڪت دوران نانو ميٽر سطح جي پوزيشن جي درستگي کي برقرار رکڻ.
عڪاسي ڪندڙ آئيني جو سبسٽريٽ: مٿاڇري جي خرابي انتهائي ننڍي آهي، آئيني جي مٿاڇري کان به وڌيڪ هموار.
ويڪيوم چيمبر: ڏهن سالن جي استعمال کان پوءِ، خرابي انساني وارن جي هڪ هزار حصي کان به گهٽ آهي.
هي تقريبن 'عام فهم خلاف' استحڪام سلڪون ڪاربائيڊ مواد جي ٽن جين مان پيدا ٿئي ٿو:
1. حرارتي توسيع جو ڪوئفيشيٽ صفر جي ويجهو پهچي ٿو: تقريبن "منجمد عمر" -150 ℃ کان 500 ℃ تائين
2. اسٽيل کان ٽي ڀيرا وڌيڪ سخت: ذرات جي بمباري جي ڪري خوردبيني نقصان جي مزاحمتي
3. خود لوبريڪيشن خاصيتون: ويڪيوم ماحول ۾ تيل کان پاڪ صحيح ٽرانسميشن حاصل ڪريو
3، سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ 'خاموش انقلاب'
جيئن چپ ٺاهڻ جو عمل 2-نانو ميٽر دور ۾ داخل ٿئي ٿو، سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪس وڌيڪ حدون ٽوڙي رهيا آهن:
ٻٽي ورڪ ٽيبل: ٻن سسٽم کي ويڪيوم ماحول ۾ "ايٽمي ليول رلي" مڪمل ڪرڻ جي اجازت ڏئي ٿو.
EUV آپٽيڪل پاٿ سسٽم: 13.5nm انتهائي الٽراوائليٽ روشني جي مسلسل بمباري جي مزاحمتي.
ملٽي ايڪسس لنڪيج سسٽم: مجموعي غلطيون پيدا ڪرڻ کان سواءِ في سيڪنڊ 200 نانو اسڪيل قدم حاصل ڪرڻ.
هڪ خاص ليٿوگرافي مشين آر اينڊ ڊي ٽيم تقابلي ٽيسٽ ڪيا آهن: سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ ورڪ پيس اسٽيج استعمال ڪرڻ کان پوءِ، سسٽم جي پوزيشننگ جي درستگي کي 40 سيڪڙو بهتر بڻايو ويو آهي، ۽ سامان جي سار سنڀال جي چڪر کي 3 مهينن کان 2 سالن تائين وڌايو ويو آهي. هي تبديلي نه رڳو چپس جي پيداوار جي قيمت کي گهٽائي ٿي، پر "چيني چپس" جي پيداوار جي درستگي کي پهريون ڀيرو بين الاقوامي معيارن جي سامهون آڻي ٿي.

4، ليبارٽري کان صنعتي ٿيڻ تائين چڙهڻ جو رستو
لٿوگرافي گريڊ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس ٺاهڻ خوردبيني دنيا ۾ هڪ 'بي عيب محل' ٺاهڻ وانگر آهي:
خام مال جي پاڪائي: الٽرا پيور سلڪون ڪاربائيڊ پائوڊر، کائڻ لائق لوڻ کان هزارين ڀيرا وڌيڪ خالص.
سنٽرنگ جو عمل: تيز گرمي پد تي ڪرسٽل جي واڌ جي هدايت جو صحيح ڪنٽرول.
ذيلي مائڪرون سطح جي نقاشي لاءِ هيرن جي ڪٽڻ جي اوزارن جي استعمال سان درست مشيننگ ۾ ثقافتي آثارن جي بحالي جيترو وقت لڳندو آهي.
اهو "مٽيريل سائنس + پريسيشن مينوفيڪچرنگ" جي ٻٽي ڪاميابي آهي جنهن جديد مواد ٺاهيا آهن، جيڪي ڪڏهن ايرو اسپيس ۽ فوجي صنعتن تائين محدود هئا، هاڻي ڊجيٽل تهذيب جي حمايت ڪندڙ بنيادي جزا بڻجي ويا آهن.
اڄ جي چپ ٺاهڻ جي عمل ۾، جيڪو جسماني حد تائين پهچي چڪو آهي، سلڪون ڪاربائڊ سيرامڪس پنهنجي "صفر سمجهوتو" خاصيتن سان ثابت ڪن ٿا ته حقيقي درستگي ڊيٽا جي اسٽيڪنگ نه آهي، پر مواد جي جوهر تي آخري ڪنٽرول آهي. جڏهن هر سيرامڪ جزو لکين نانو اسڪيل حرڪتن جو واعدو کڻندو آهي، ته اسان جيڪو ڏسون ٿا اهو نه رڳو سيمي ڪنڊڪٽر سامان جو ارتقا آهي، پر هڪ قوم جي صنعت جو درستگي جي چوٽي ڏانهن وڌڻ جو عزم پڻ آهي.