ຊ່າງແກະສະຫຼັກທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນຂອງໂລກຈຸນລະພາກ: ວິທີທີ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຮັກສາຈຸດສູງສຸດຂອງຄວາມແມ່ນຍໍາໃນການຜະລິດຊິບ

ໃນເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນສຳລັບການຜະລິດຊິບ, ຄວາມຜິດພາດທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນສາມາດທຳລາຍແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີມູນຄ່າຫຼາຍລ້ານໂດລາ. ທຸກໆໄມໂຄຣແມັດຂອງການຍ້າຍຖິ່ນຖານຢູ່ທີ່ນີ້ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍຕໍ່ຄວາມສຳເລັດ ຫຼື ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງວົງຈອນຂະໜາດນາໂນ, ແລະແກນກາງທີ່ສະໜັບສະໜູນການເຕັ້ນຂອງຄວາມແມ່ນຍຳນີ້ແມ່ນຕົວລະຄອນຫຼັກຂອງພວກເຮົາໃນມື້ນີ້:ວັດສະດຸເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ- ມັນຄືກັບກຳລັງທີ່ຄວບຄຸມສະຖຽນລະພາບໃນໂລກຈຸລະທັດ, ປົກປ້ອງສາຍຊີວິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາທີ່ທັນສະໄໝໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ.
1, ເມື່ອເຊລາມິກພົບກັບຊິບ: ສິ່ງທ້າທາຍສຸດຍອດໃນຄວາມແມ່ນຍຳ
ອົງປະກອບເຊລາມິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນຕ້ອງມີບົດບາດສາມຢ່າງພ້ອມໆກັນ:
ພື້ນຖານທີ່ໝັ້ນຄົງທີ່ສຸດ: ທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນຫຼາຍໂຕນໃນເວລາທີ່ຖືກສຳຜັດ ແຕ່ຍັງຄົງບໍ່ເຄື່ອນຍ້າຍ.
ຕົວຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ຮັກສາສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນພາຍໃຕ້ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນສູງຂອງເລເຊີ.
Vacuum Guardian: ຮັກສາຄວາມຮາບພຽງຂອງລະດັບອະຕອມເປັນເວລາສິບປີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ບໍ່ມີການສັ່ນສະເທືອນ.
ວັດສະດຸໂລຫະແບບດັ້ງເດີມຈະຜະລິດ "ການສັ່ນສະເທືອນຂະໜາດນ້ອຍ" ເນື່ອງຈາກການຂະຫຍາຍຕົວ ແລະ ການຫົດຕົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ, ໃນຂະນະທີ່ວັດສະດຸໂພລີເມີແມ່ນຍາກທີ່ຈະຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງ plasma. ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, ດ້ວຍໂຄງສ້າງຜລຶກທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນ, ບັນລຸຄວາມສົມດຸນທີ່ສົມບູນແບບໃນດ້ານຄວາມແຂງ, ການນຳຄວາມຮ້ອນ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຜິດຮູບ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເປັນທາງເລືອກອັນດັບຕົ້ນໆສຳລັບອົງປະກອບຫຼັກຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ.
2, ຄວາມແມ່ນຍໍາລະດັບນາໂນ 'ຜູ້ປົກປ້ອງທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນ'
ໃນເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນຊັ້ນນຳເຊັ່ນ ASML ໃນປະເທດເນເທີແລນ, NIKON ແລະ CANON ໃນປະເທດຍີ່ປຸ່ນ, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ກຳລັງຂຽນກົດລະບຽບຂອງການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳຄືນໃໝ່ຢ່າງງຽບໆ:
ຂັ້ນຕອນການໃສ່ໜ້າກາກ: ຖືໂຟໂຕມາສທີ່ມີມູນຄ່າເທົ່າກັບຄຳ, ຮັກສາຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕຳແໜ່ງໃນລະດັບນາໂນແມັດໃນລະຫວ່າງການເຄື່ອນໄຫວດ້ວຍຄວາມໄວສູງ.
ພື້ນຜິວກະຈົກສະທ້ອນແສງ: ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວມີຂະໜາດນ້ອຍຫຼາຍ, ລຽບກວ່າພື້ນຜິວກະຈົກ.
ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ຫຼັງຈາກໃຊ້ງານໄດ້ສິບປີ, ການຜິດຮູບຈະໜ້ອຍກວ່າໜຶ່ງສ່ວນພັນຂອງເສັ້ນຜົມຂອງມະນຸດ
ສະຖຽນລະພາບທີ່ເກືອບ 'ຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮູ້ສຶກທົ່ວໄປ' ນີ້ແມ່ນມາຈາກສາມພັນທຸກໍາຂອງວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບ:
1. ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນເຂົ້າໃກ້ສູນ: ເກືອບເປັນ “ຍຸກແຊ່ແຂງ” ຈາກ -150 ℃ ຫາ 500 ℃
2. ແຂງກວ່າເຫຼັກກ້າສາມເທົ່າ: ທົນທານຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍຈາກກ້ອງຈຸລະທັດທີ່ເກີດຈາກການຖິ້ມລະເບີດຂອງອະນຸພາກ
3. ຄຸນລັກສະນະການຫລໍ່ລື່ນດ້ວຍຕົນເອງ: ບັນລຸການສົ່ງກຳລັງທີ່ຊັດເຈນໂດຍບໍ່ມີນໍ້າມັນໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ
3. 'ການປະຕິວັດທີ່ງຽບສະຫງົບ' ໃນອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາ
ໃນຂະນະທີ່ຂະບວນການຜະລິດຊິບເຂົ້າສູ່ຍຸກ 2 ນາໂນແມັດ, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ກຳລັງທຳລາຍຂໍ້ຈຳກັດຫຼາຍຂຶ້ນ:
ໂຕະເຮັດວຽກຄູ່: ອະນຸຍາດໃຫ້ສອງລະບົບເຮັດສຳເລັດ "ການສົ່ງຕໍ່ລະດັບປະລໍາມະນູ" ໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ.
ລະບົບເສັ້ນທາງແສງ EUV: ທົນທານຕໍ່ການຍິງໂຈມຕີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງແສງ ultraviolet ທີ່ຮຸນແຮງ 13.5 nm.
ລະບົບການເຊື່ອມຕໍ່ຫຼາຍແກນ: ບັນລຸ 200 ຂັ້ນຕອນຂະໜາດນາໂນຕໍ່ວິນາທີໂດຍບໍ່ສ້າງຄວາມຜິດພາດສະສົມ.
ທີມງານຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນບາງອັນໄດ້ດຳເນີນການທົດສອບປຽບທຽບ: ຫຼັງຈາກການນຳໃຊ້ຂັ້ນຕອນການຜະລິດຊິ້ນວຽກເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວາງຕຳແໜ່ງຂອງລະບົບໄດ້ຮັບການປັບປຸງໃຫ້ດີຂຶ້ນ 40%, ແລະ ວົງຈອນການບຳລຸງຮັກສາອຸປະກອນໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍຈາກ 3 ເດືອນເປັນ 2 ປີ. ການປ່ຽນແປງນີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດຂອງຊິບເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເຮັດໃຫ້ຄວາມຖືກຕ້ອງໃນການຜະລິດຂອງ "ຊິບຈີນ" ກ້າວໄປສູ່ມາດຕະຖານສາກົນເປັນຄັ້ງທຳອິດ.

4, ເສັ້ນທາງປີນພູຈາກຫ້ອງທົດລອງໄປສູ່ອຸດສາຫະກຳ
ການຜະລິດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຣຊັ້ນພິມລິດໂຕກຣາຟີແມ່ນຄືກັບການສ້າງ 'ພະລາຊະວັງທີ່ບໍ່ມີຂໍ້ບົກພ່ອງ' ໃນໂລກຈຸລະທັດ:
ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດຖຸດິບ: ຜົງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ບໍລິສຸດພິເສດ, ບໍລິສຸດກວ່າເກືອທີ່ກິນໄດ້ຫຼາຍພັນເທົ່າ.
ຂະບວນການເຜົາໄໝ້: ການຄວບຄຸມທິດທາງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກທີ່ຊັດເຈນໃນອຸນຫະພູມສູງ.
ການເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງມືຕັດເພັດສໍາລັບການແກະສະຫຼັກລະດັບຕ່ຳກວ່າໄມຄຣອນໃຊ້ເວລາຫຼາຍເທົ່າກັບການຟື້ນຟູວັດຖຸບູຮານທາງວັດທະນະທໍາ.
ມັນແມ່ນຄວາມກ້າວໜ້າສອງຢ່າງຂອງ "ວິທະຍາສາດວັດສະດຸ + ການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ" ນີ້ທີ່ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ທັນສະໄໝ, ເຊິ່ງເຄີຍຖືກຈຳກັດຢູ່ໃນອຸດສາຫະກຳການບິນ ແລະ ການທະຫານ, ປະຈຸບັນກາຍເປັນອົງປະກອບພື້ນຖານທີ່ສະໜັບສະໜູນອາລະຍະທຳດິຈິຕອນ.
ໃນຂະບວນການຜະລິດຊິບໃນປະຈຸບັນ, ເຊິ່ງໄດ້ບັນລຸຂີດຈຳກັດທາງກາຍະພາບ, ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບໄດ້ພິສູດດ້ວຍຄຸນລັກສະນະ "ສູນປະນີປະນອມ" ຂອງມັນວ່າຄວາມແມ່ນຍຳທີ່ແທ້ຈິງບໍ່ແມ່ນການຊ້ອນກັນຂອງຂໍ້ມູນ, ແຕ່ເປັນການຄວບຄຸມສຸດທ້າຍຕໍ່ສາລະສຳຄັນຂອງວັດສະດຸ. ເມື່ອທຸກໆອົງປະກອບເຊລາມິກມີຄຳສັນຍາຂອງການເຄື່ອນໄຫວລະດັບນາໂນຫຼາຍລ້ານຄັ້ງ, ສິ່ງທີ່ພວກເຮົາເຫັນບໍ່ພຽງແຕ່ວິວັດທະນາການຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນຄວາມຕັ້ງໃຈຂອງອຸດສາຫະກຳຂອງປະເທດຊາດທີ່ຈະກ້າວໄປສູ່ຈຸດສູງສຸດຂອງຄວາມແມ່ນຍຳ.