مىكرو دۇنيانىڭ كۆرۈنمەس ھەيكەلتىراشلىرى: كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى قانداق قىلىپ چىپ ئىشلەپچىقىرىشتا ئەڭ يۇقىرى دەرىجىگە يېتىدۇ

چىپ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىدا، كۆرۈنمەيدىغان خاتالىق مىليونلىغان دوللارلىق ۋافېرلارنى ۋەيران قىلىشى مۇمكىن. بۇ يەردىكى ھەر بىر مىكرومېتىر يۆتكىلىش نانو ئۆلچەملىك توك يولىنىڭ مۇۋەپپەقىيىتى ياكى مەغلۇبىيىتى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم، بۇ ئېنىقلىق ئۇسسۇلىنى قوللايدىغان يادرو بۈگۈنكى باش قەھرىمانىمىز:كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ماتېرىيالى– ئۇ مىكروسكوپ دۇنيادىكى مۇقىملاشتۇرغۇچى كۈچكە ئوخشايدۇ، ئۇ زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىنىڭ ئەڭ ناچار مۇھىتتا ئېنىقلىق ھاياتلىق لىنىيەسىنى قوغدايدۇ.
1، كېرامىكا بىلەن چىپسى ئۇچراشقاندا: توغرىلىقتىكى ئەڭ چوڭ خىرىس
لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ ئېنىق كېرامىكا تەركىبلىرى بىرلا ۋاقىتتا ئۈچ رولنى ئوينىشى كېرەك:
ئىنتايىن مۇقىم ئاساس: ئاشكارىلانغان ۋاقىتتا نەچچە توننا بېسىمغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ، ئەمما ھەرىكەتسىز تۇرىدۇ.
تېمپېراتۇرا كۆزىتىش سىستېمىسى: لازېرنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق سوقۇلۇشى ئاستىدا ئىسسىقلىق مۇقىملىقىنى ساقلايدۇ.
Vacuum Guardian: نۆل تەۋرىنىش مۇھىتىدا ئاتوم سەۋىيەسىنىڭ تۈزلۈكىنى ئون يىل ساقلايدۇ.
ئەنئەنىۋى مېتال ماتېرىياللار ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە قىسقىرىشى سەۋەبىدىن «مىكرو تىترەش» پەيدا قىلىدۇ، پولىمېر ماتېرىياللارنىڭ پلازما چىرىشىغا قارشى تۇرۇشى تەس. كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى، ئۆزىگە خاس كىرىستال قۇرۇلمىسى بىلەن، قاتتىقلىق، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە دېفورماتسىيەگە قارشى تۇرۇش جەھەتتە مۇكەممەل تەڭپۇڭلۇققا ئېرىشىدۇ، بۇ ئۇلارنى لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى تاللاشقا ئايلاندۇرىدۇ.
2، نانو دەرىجىلىك ئېنىقلىقتىكى «كۆرۈنمەس قوغدىغۇچى»
گوللاندىيەدىكى ASML، ياپونىيەدىكى NIKON ۋە CANON قاتارلىق ئالدىنقى قاتاردىكى لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىدا، كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش قائىدىلىرىنى جىمجىتلىق بىلەن قايتا يېزىۋاتىدۇ:
ماسكا باسقۇچى: ئالتۇنغا تەڭ قىممەتلىك فوتوماسكىنى كۆتۈرۈپ يۈرۈش، يۇقىرى سۈرئەتلىك ھەرىكەت جەريانىدا نانومېتىر دەرىجىسىدىكى ئورۇن بەلگىلەش توغرىلىقىنى ساقلاش.
نۇر قايتۇرغۇچ ئەينەك ئاساسى: يۈزەكى پۇچۇقلۇقى ئىنتايىن كىچىك، ھەتتا ئەينەك يۈزىدىنمۇ سىلىق.
ۋاكۇئۇم كامېراسى: ئون يىل ئىشلەتكەندىن كېيىن، دېفورماتسىيە ئىنسان چېچىنىڭ مىڭدىن بىر قىسمىدىنمۇ كىچىك بولىدۇ.
بۇ دېگۈدەك «ئادەتتىكى ئەقىلگە خىلاپ» مۇقىملىق كرېمنىي كاربىد ماتېرىياللىرىنىڭ ئۈچ خىل گېنىدىن كېلىپ چىققان:
1. ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى نۆلگە يېقىنلىشىدۇ: -150 ℃ دىن 500 ℃ غىچە دېگۈدەك «توڭلىغان ياش»
2. پولاتتىن ئۈچ ھەسسە قاتتىق: زەررىچە بومباردىمانىدىن كېلىپ چىققان مىكروسكوپلۇق زەخمىگە چىداملىق
3. ئۆزلۈكىدىن مايلاش خۇسۇسىيىتى: ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا مايسىز ئېنىق يەتكۈزۈشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇڭ
3، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدىكى «جىمجىت ئىنقىلاب»
چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانى 2 نانومېتىرلىق دەۋرگە قەدەم قويغاندا، كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى تېخىمۇ كۆپ چەكلىمىلەرنى بۆسۈپ ئۆتمەكتە:
قوش خىزمەت ئۈستىلى: ئىككى سىستېمىنىڭ ۋاكۇئۇم مۇھىتىدا «ئاتوم سەۋىيەسىنى يەتكۈزۈش» نى تاماملىشىغا يول قويىدۇ.
EUV ئوپتىكىلىق يول سىستېمىسى: 13.5nm ئۇزۇنلۇقتىكى ئېكسكۇرسىيەلىك ئۇلترابىنەفشە نۇرنىڭ ئۈزلۈكسىز بومباردىمان قىلىنىشىغا چىداملىق.
كۆپ ئوقلۇق ئۇلىنىش سىستېمىسى: يىغىلىپ خاتالىق پەيدا قىلماي، سېكۇنتىغا 200 نانو كۆلەملىك قەدەمنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش.
بەلگىلىك بىر لىتوگرافىيە ماشىنىسى تەتقىقات ۋە تەرەققىيات گۇرۇپپىسى سېلىشتۇرما سىناق ئېلىپ باردى: كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىكا ئىشكاپ باسقۇچى ئىشلىتىلگەندىن كېيىن، سىستېمىنىڭ ئورنىنى بەلگىلەش توغرىلىقى %40 يۇقىرى كۆتۈرۈلدى، ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراش دەۋرى 3 ئايدىن 2 يىلغىچە ئۇزارتىلدى. بۇ ئۆزگىرىش پەقەت چىپ ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىپلا قالماي، يەنە «جۇڭگو چىپلىرى» نىڭ ئىشلەپچىقىرىش توغرىلىقىنى تۇنجى قېتىم خەلقئارا ئۆلچەملەرنىڭ ئالدىنقى قاتارىغا ئېلىپ چىقتى.

4، تەجرىبىخانىدىن سانائەتلىشىشكىچە بولغان ئۆرلەش يولى
لىتوگرافىيە دەرىجىلىك كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسى ئىشلەپچىقىرىش مىكروسكوپ دۇنياسىدا «نۇقسانسىز ساراي» قۇرۇشقا ئوخشايدۇ:
خام ماتېرىيال ساپلىقى: ئىنتايىن ساپ كرېمنىي كاربىد پاراشوكى، يېيىشلىك تۇزدىن مىڭ ھەسسە ساپ.
سىنتېرلاش جەريانى: يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا كىرىستال ئۆسۈش يۆنىلىشىنى ئېنىق كونترول قىلىش.
مىكروندىن تۆۋەن سەۋىيىدىكى ئويما ئىشلىرىدا ئالماس كېسىش قوراللىرىنى ئىشلىتىپ ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەش مەدەنىيەت يادىكارلىقلىرىنى ئەسلىگە كەلتۈرۈشكە ئوخشاش ۋاقىت تەلەپ قىلىدۇ.
«ماتېرىيال ئىلمى + ئېنىق ئىشلەپچىقىرىش» نىڭ قوش ئىلگىرىلىشى ئىلگىرى ئاۋىئاتسىيە ۋە ھەربىي سانائەت بىلەنلا چەكلىنىپ قالغان ئەڭ ئىلغار ماتېرىياللارنىڭ ھازىر رەقەملىك مەدەنىيەتنى قوللايدىغان ئاساسىي تەركىبكە ئايلىنىشىغا سەۋەب بولدى.
بۈگۈنكى كۈندە فىزىكىلىق چەككە يەتكەن چىپ ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىكا ئۆزىنىڭ «نۆل مۇرەسسە» خۇسۇسىيىتى بىلەن ھەقىقىي ئېنىقلىقنىڭ سانلىق مەلۇماتلارنى بىر يەرگە توپلاش ئەمەس، بەلكى ماتېرىياللارنىڭ جەۋھىرىنى ئەڭ يۇقىرى دەرىجىدە كونترول قىلىش ئىكەنلىكىنى ئىسپاتلىدى. ھەر بىر كېرامىكا زاپچاسلىرى مىليونلىغان نانو كۆلەملىك ھەرىكەتلەرنىڭ ۋەدىسىنى ئېلىپ يۈرگەندە، بىز پەقەت يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ تەرەققىياتىلا ئەمەس، بەلكى بىر مىللەت سانائىتىنىڭ ئېنىقلىقنىڭ چوققىسىغا قاراپ ئىلگىرىلەش ئىرادىسىنىمۇ كۆرىمىز.