Дар мошинҳои литография барои истеҳсоли чипҳо, як хатои ноаён метавонад вафлиҳоро ба маблағи миллионҳо доллар нобуд кунад. Ҳар як микрометри ҷойивазкунӣ дар ин ҷо барои муваффақият ё нокомии схемаҳои наноандоза муҳим аст ва ядрое, ки ин рақси дақиқро дастгирӣ мекунад, қаҳрамони имрӯзаи мост:маводи керамикӣ аз карбиди кремний– он мисли як қувваи устуворкунанда дар ҷаҳони микроскопӣ аст, ки хати наҷоти дақиқи саноати нимноқилҳои муосирро дар муҳитҳои шадид муҳофизат мекунад.
1, Вақте ки сафолҳо бо микросхемаҳо вомехӯранд: Мушкилоти ниҳоӣ дар дақиқӣ
Қисмҳои дақиқи керамикии мошинҳои литография бояд ҳамзамон се нақшро иҷро кунанд:
Пойгоҳи ниҳоят устувор: дар лаҳзаи таъсир ба чанд тонна фишор тоб меорад, аммо беҷунбон мемонад.
Посбони ҳарорат: устувории гармиро дар зери зарбаи гармии баланди лазер нигоҳ медорад.
Vacuum Guardian: сатҳи атомии ҳамвориро дар муҳити бе ларзиш ба муддати даҳ сол нигоҳ медорад.
Маводҳои анъанавии металлӣ аз сабаби васеъшавӣ ва кашишхӯрии гармӣ "микроларзишҳо"-ро ба вуҷуд меоранд, дар ҳоле ки маводҳои полимерӣ барои муқовимат ба зангзании плазма душворанд. Керамикаи карбидии кремний бо сохтори беназири кристаллии худ тавозуни комилро дар сахтӣ, гузаронандагии гармӣ ва муқовимат ба деформатсия ба даст меоранд, ки онҳоро интихоби беҳтарин барои ҷузъҳои асосии дастгоҳҳои литография мегардонад.
2, дақиқии сатҳи нано 'муҳофизи ноаён'
Дар дастгоҳҳои литографияи сатҳи баланд, ба монанди ASML дар Нидерландия, NIKON ва CANON дар Ҷопон, сафолҳои карбидии кремний оҳиста қоидаҳои истеҳсоли дақиқро аз нав менависанд:
Марҳилаи ниқоб: бурдани ниқоби фотониқоб, ки ба арзиши тилло баробар аст, нигоҳ доштани дақиқии ҷойгиркунӣ дар сатҳи нанометр ҳангоми ҳаракати баландсуръат.
Табақаи оинаи инъикоскунанда: Ноҳамвории сатҳ хеле хурд аст, ҳатто нисбат ба сатҳи оина ҳамвортар.
Камераи вакуумӣ: Пас аз даҳ соли истифода, деформатсия камтар аз ҳазор як мӯи инсон аст.
Ин устувории қариб "зидди ақли солим" аз генҳои сегонаи маводҳои карбиди кремний бармеояд:
1. Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ ба сифр наздик мешавад: қариб "синну соли яхбаста" аз -150 ℃ то 500 ℃
2. Се маротиба аз пӯлод сахттар: ба осеби микроскопӣ, ки аз зарраҳои бомбаборон ба вуҷуд меояд, тобовар аст
3. Хусусиятҳои худмолидан: Дар муҳити вакуумӣ интиқоли дақиқи бидуни равғанро ба даст оред
3, «Инқилоби хомӯш» дар саноати нимноқилҳо
Ҳангоме ки раванди истеҳсоли чип ба давраи 2-нанометрӣ ворид мешавад, сафолҳои карбидии кремний аз маҳдудиятҳои бештар мегузаранд:
Мизи кории дугона: ба ду система имкон медиҳад, ки "релеи сатҳи атомӣ"-ро дар муҳити вакуумӣ анҷом диҳанд.
Системаи роҳи оптикии EUV: ба бомбаборони пайвастаи нури ултрабунафши шадиди 13.5nm тобовар аст.
Системаи пайванди бисёрмеҳварӣ: ноил шудан ба 200 қадами нанодараҷа дар як сония бидуни ба вуҷуд овардани хатогиҳои ҷамъшаванда.
Гурӯҳи таҳқиқот ва таҳияи як дастгоҳи муайяни литография озмоишҳои муқоисавӣ анҷом дод: пас аз истифодаи марҳилаи коркарди сафолии карбиди кремний, дақиқии ҷойгиркунии система 40% беҳтар карда шуд ва давраи нигоҳдории таҷҳизот аз 3 моҳ то 2 сол дароз карда шуд. Ин тағйирот на танҳо арзиши истеҳсоли чипҳоро коҳиш медиҳад, балки дақиқии истеҳсоли "чипҳои чинӣ"-ро бори аввал ба сатҳи стандартҳои байналмилалӣ мебарорад.
4 Роҳи баромадан аз озмоишгоҳ ба саноатсозӣ
Истеҳсоли сафолҳои карбидии кремнийи дараҷаи литография ба сохтани «қасри беайб» дар ҷаҳони микроскопӣ монанд аст:
Покии ашёи хом: хокаи карбиди силикони ултра-хокистарӣ, ки ҳазорҳо маротиба аз намаки ошӣ тозатар аст.
Раванди пухтан: назорати дақиқи самти афзоиши кристаллҳо дар ҳарорати баланд.
Коркарди дақиқ бо истифода аз асбобҳои буридани алмос барои кандакорӣ дар сатҳи зермикрон ба андозаи барқарорсозии ёдгориҳои фарҳангӣ вақтро талаб мекунад.
Маҳз ҳамин пешрафти дуҷонибаи «илми мавод + истеҳсолоти дақиқ» боиси он гардид, ки маводҳои муосир, ки қаблан танҳо ба саноати кайҳонӣ ва низомӣ маҳдуд буданд, ҳоло ба ҷузъҳои асосии дастгирии тамаддуни рақамӣ табдил ёбанд.
Дар раванди истеҳсоли чипҳои имрӯза, ки ба ҳадди физикӣ расидааст, сафолҳои карбидии кремний бо хусусиятҳои "мутобиқати сифрӣ"-и худ исбот мекунанд, ки дақиқии ҳақиқӣ на ҷамъ кардани маълумот, балки назорати ниҳоӣ бар моҳияти маводҳост. Вақте ки ҳар як ҷузъи сафолӣ ваъдаи миллионҳо ҳаракатҳои наномасштабро дорад, он чизе ки мо мебинем, на танҳо таҳаввулоти таҷҳизоти нимноқилӣ, балки инчунин қатъияти саноати як миллат барои ҳаракат ба сӯи қуллаи дақиқӣ аст.
Вақти нашр: 03 апрели соли 2025