ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಪ್ರಪಂಚದ ಅದೃಶ್ಯ ಶಿಲ್ಪಿ: ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ನಿಖರತೆಯ ಶಿಖರವನ್ನು ಹೇಗೆ ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ

ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಅದೃಶ್ಯ ದೋಷವು ಲಕ್ಷಾಂತರ ಡಾಲರ್ ಮೌಲ್ಯದ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಇಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿ ಮೈಕ್ರೋಮೀಟರ್ ಸ್ಥಳಾಂತರವು ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಯಶಸ್ಸು ಅಥವಾ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಈ ನಿಖರವಾದ ನೃತ್ಯವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಕೋರ್ ಇಂದು ನಮ್ಮ ನಾಯಕ:ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತು- ಇದು ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸುವ ಶಕ್ತಿಯಂತಿದ್ದು, ವಿಪರೀತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ನಿಖರವಾದ ಜೀವಸೆಲೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡುತ್ತದೆ.
1, ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಚಿಪ್ಸ್‌ಗಳನ್ನು ಭೇಟಿಯಾದಾಗ: ನಿಖರತೆಯಲ್ಲಿ ಒಂದು ಅಂತಿಮ ಸವಾಲು
ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ನಿಖರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಘಟಕಗಳು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಮೂರು ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ:
ಅಲ್ಟ್ರಾ ಸ್ಟೇಬಲ್ ಬೇಸ್: ಒಡ್ಡಿಕೊಂಡ ಕ್ಷಣದಲ್ಲಿ ಹಲವಾರು ಟನ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಆದರೆ ಚಲನರಹಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ತಾಪಮಾನ ಸೆಂಟಿನೆಲ್: ಲೇಸರ್‌ನ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ವಾತ ರಕ್ಷಕ: ಶೂನ್ಯ ಕಂಪನ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಹತ್ತು ವರ್ಷಗಳ ಕಾಲ ಪರಮಾಣು ಮಟ್ಟದ ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಮತ್ತು ಸಂಕೋಚನದಿಂದಾಗಿ "ಸೂಕ್ಷ್ಮ ನಡುಕ"ಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಪಾಲಿಮರ್ ವಸ್ತುಗಳು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುವುದು ಕಷ್ಟ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್, ಅವುಗಳ ವಿಶಿಷ್ಟ ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ, ಗಡಸುತನ, ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ವಿರೂಪ ಪ್ರತಿರೋಧದಲ್ಲಿ ಪರಿಪೂರ್ಣ ಸಮತೋಲನವನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಕೋರ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
2, ನ್ಯಾನೋ ಮಟ್ಟದ ನಿಖರತೆ 'ಅದೃಶ್ಯ ಅಂಗರಕ್ಷಕ'
ನೆದರ್‌ಲ್ಯಾಂಡ್ಸ್‌ನ ASML, ಜಪಾನ್‌ನ NIKON ಮತ್ತು CANON ನಂತಹ ಉನ್ನತ ಶ್ರೇಣಿಯ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳು ನಿಖರ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ನಿಯಮಗಳನ್ನು ಸದ್ದಿಲ್ಲದೆ ಪುನಃ ಬರೆಯುತ್ತಿವೆ:
ಮುಖವಾಡದ ಹಂತ: ಚಿನ್ನದಷ್ಟು ಮೌಲ್ಯದ ಫೋಟೋ ಮುಖವಾಡವನ್ನು ಒಯ್ಯುವುದು, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಚಲನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುವುದು.
ಪ್ರತಿಫಲಿತ ಕನ್ನಡಿ ತಲಾಧಾರ: ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನವು ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದು, ಕನ್ನಡಿ ಮೇಲ್ಮೈಗಿಂತಲೂ ಮೃದುವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ವಾತ ಕೋಣೆ: ಹತ್ತು ವರ್ಷಗಳ ಬಳಕೆಯ ನಂತರ, ವಿರೂಪತೆಯು ಮಾನವ ಕೂದಲಿನ ಸಾವಿರದ ಒಂದು ಭಾಗಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿದೆ.
ಈ 'ಸಾಮಾನ್ಯ ಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ವಿರುದ್ಧವಾದ' ಸ್ಥಿರತೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ಟ್ರಿಪಲ್ ಜೀನ್‌ಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ:
1. ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ ಶೂನ್ಯವನ್ನು ಸಮೀಪಿಸುತ್ತದೆ: ಬಹುತೇಕ "ಹೆಪ್ಪುಗಟ್ಟಿದ ವಯಸ್ಸು" -150 ℃ ನಿಂದ 500 ℃ ವರೆಗೆ
2. ಉಕ್ಕಿಗಿಂತ ಮೂರು ಪಟ್ಟು ಗಟ್ಟಿಯಾಗಿದೆ: ಕಣಗಳ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿಯಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಹಾನಿಗೆ ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ.
3. ಸ್ವಯಂ ನಯಗೊಳಿಸುವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು: ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ತೈಲ-ಮುಕ್ತ ನಿಖರವಾದ ಪ್ರಸರಣವನ್ನು ಸಾಧಿಸಿ.
3, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ 'ಮೌನ ಕ್ರಾಂತಿ'
ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು 2-ನ್ಯಾನೊಮೀಟರ್ ಯುಗಕ್ಕೆ ಪ್ರವೇಶಿಸುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮಿತಿಗಳನ್ನು ಭೇದಿಸುತ್ತಿದೆ:
ಡ್ಯುಯಲ್ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್: ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಎರಡು ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು "ಪರಮಾಣು ಮಟ್ಟದ ರಿಲೇ" ಅನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
EUV ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪಾತ್ ಸಿಸ್ಟಮ್: 13.5nm ತೀವ್ರ ನೇರಳಾತೀತ ಬೆಳಕಿನ ನಿರಂತರ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕ.
ಬಹು ಅಕ್ಷದ ಸಂಪರ್ಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆ: ಸಂಚಿತ ದೋಷಗಳನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸದೆ ಪ್ರತಿ ಸೆಕೆಂಡಿಗೆ 200 ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಹಂತಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸುವುದು.
ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ R&D ತಂಡವು ತುಲನಾತ್ಮಕ ಪರೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ನಡೆಸಿದೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಹಂತವನ್ನು ಬಳಸಿದ ನಂತರ, ಸಿಸ್ಟಮ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು 40% ರಷ್ಟು ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳ ನಿರ್ವಹಣಾ ಚಕ್ರವನ್ನು 3 ತಿಂಗಳಿಂದ 2 ವರ್ಷಗಳಿಗೆ ವಿಸ್ತರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಬದಲಾವಣೆಯು ಚಿಪ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದಲ್ಲದೆ, "ಚೈನೀಸ್ ಚಿಪ್ಸ್" ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಮೊದಲ ಬಾರಿಗೆ ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಮಾನದಂಡಗಳ ಮುಂಚೂಣಿಗೆ ತರುತ್ತದೆ.

4, ಪ್ರಯೋಗಾಲಯದಿಂದ ಕೈಗಾರಿಕೀಕರಣಕ್ಕೆ ಹತ್ತುವ ಮಾರ್ಗ
ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ದರ್ಜೆಯ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವುದು ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ಜಗತ್ತಿನಲ್ಲಿ 'ದೋಷರಹಿತ ಅರಮನೆ'ಯನ್ನು ನಿರ್ಮಿಸಿದಂತೆ:
ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳ ಶುದ್ಧತೆ: ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಪ್ಯೂರ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪುಡಿ, ಖಾದ್ಯ ಉಪ್ಪಿಗಿಂತ ಸಾವಿರಾರು ಪಟ್ಟು ಶುದ್ಧವಾಗಿದೆ.
ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸ್ಫಟಿಕದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದಿಕ್ಕಿನ ನಿಖರವಾದ ನಿಯಂತ್ರಣ.
ಸಬ್ ಮೈಕ್ರಾನ್ ಮಟ್ಟದ ಕೆತ್ತನೆಗಾಗಿ ವಜ್ರ ಕತ್ತರಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ನಿಖರವಾದ ಯಂತ್ರೋಪಕರಣವು ಸಾಂಸ್ಕೃತಿಕ ಅವಶೇಷಗಳ ಪುನಃಸ್ಥಾಪನೆಯಷ್ಟೇ ಸಮಯವನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
"ವಸ್ತು ವಿಜ್ಞಾನ+ನಿಖರತೆಯ ಉತ್ಪಾದನೆ"ಯ ಈ ದ್ವಂದ್ವ ಪ್ರಗತಿಯೇ ಒಂದು ಕಾಲದಲ್ಲಿ ಬಾಹ್ಯಾಕಾಶ ಮತ್ತು ಮಿಲಿಟರಿ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿದ್ದ ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಈಗ ಡಿಜಿಟಲ್ ನಾಗರಿಕತೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುವ ಮೂಲಭೂತ ಘಟಕಗಳಾಗಿ ಮಾರ್ಪಡಿಸಿದೆ.
ಇಂದಿನ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಭೌತಿಕ ಮಿತಿಯನ್ನು ತಲುಪಿರುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ತನ್ನ "ಶೂನ್ಯ ರಾಜಿ" ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ನಿಜವಾದ ನಿಖರತೆಯು ದತ್ತಾಂಶದ ಪೇರಿಸುವಿಕೆ ಅಲ್ಲ, ಬದಲಾಗಿ ವಸ್ತುಗಳ ಸಾರದ ಮೇಲಿನ ಅಂತಿಮ ನಿಯಂತ್ರಣ ಎಂದು ಸಾಬೀತುಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಘಟಕವು ಲಕ್ಷಾಂತರ ನ್ಯಾನೊಸ್ಕೇಲ್ ಚಲನೆಗಳ ಭರವಸೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವಾಗ, ನಾವು ನೋಡುವುದು ಅರೆವಾಹಕ ಉಪಕರಣಗಳ ವಿಕಸನ ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ನಿಖರತೆಯ ಉತ್ತುಂಗದತ್ತ ಸಾಗುವ ರಾಷ್ಟ್ರದ ಉದ್ಯಮದ ನಿರ್ಣಯವೂ ಆಗಿದೆ.