Nínú àwọn ẹ̀rọ lithography fún ṣíṣe chip, àṣìṣe àìrí kan lè ba àwọn wafer tí ó níye lórí mílíọ̀nù dọ́là jẹ́. Gbogbo micrometer ti ìyípadà níbí ṣe pàtàkì sí àṣeyọrí tàbí ìkùnà àwọn circuits nanoscale, àti ohun pàtàkì tí ó ń ṣètìlẹ́yìn fún ijó pípéye yìí ni olórí wa lónìí:ohun elo seramiki silikoni carbide– ó dàbí agbára ìdúróṣinṣin ní ayé aláìlágbára, tí ó ń dáàbò bo ọ̀nà ìdúróṣinṣin ti ilé-iṣẹ́ semiconductor òde òní ní àwọn àyíká tí ó le koko.
1, Nígbà tí àwọn ohun èlò ìṣẹ́dá bá pàdé àwọn ìṣùpọ̀: Ìpèníjà Gíga ní Ìpéye
Àwọn ohun èlò seramiki pípé ti àwọn ẹ̀rọ lithography gbọ́dọ̀ ṣe ipa mẹ́ta ní àkókò kan náà:
Ipìlẹ̀ tó dúró ṣinṣin gidigidi: ó lè fara da ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìfúnpá ní àkókò tí wọ́n bá fi ara hàn, ṣùgbọ́n kò lè dúró.
Sentinel iwọn otutu: n ṣetọju iduroṣinṣin ooru labẹ mọnamọna ooru giga ti lesa.
Ààbò Ààbò: ó ń tọ́jú ìpele atomiki fún ọdún mẹ́wàá ní àyíká ìgbọ̀nsẹ̀ òdo.
Àwọn ohun èlò irin ìbílẹ̀ yóò mú “ìwárìrì kékeré” jáde nítorí ìfẹ̀sí ooru àti ìfàsẹ́yìn, nígbà tí àwọn ohun èlò polima ṣòro láti kojú ìbàjẹ́ plasma. Àwọn seramiki silikoni carbide, pẹ̀lú ìṣètò kristali àrà ọ̀tọ̀ wọn, ní ìwọ́ntúnwọ̀nsì pípé nínú líle, ìfaradà ooru, àti ìdènà ìyípadà, èyí tí ó mú wọn jẹ́ àṣàyàn àkọ́kọ́ fún àwọn ohun èlò pàtàkì nínú àwọn ẹ̀rọ lithography.
2, ìpele Nano ti ko ni abawọn 'aláìrí olùṣọ́'
Nínú àwọn ẹ̀rọ ìwádìí gíga bíi ASML ní Netherlands, NIKON àti CANON ní Japan, àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá silicon carbide ń tún àwọn òfin ìṣelọ́pọ́ tí ó péye ṣe:
Ipele iboju: gbigbe iboju fọto ti o niye bi wura, mimu ipo ipele nanometer deede lakoko gbigbe iyara giga.
Àwòrán dígí tó ń tànmọ́lẹ̀: Ìrísí ojú ilẹ̀ náà kéré gan-an, ó tilẹ̀ mọ́lẹ̀ ju ojú dígí lọ.
Yàrá ìfọṣọ: Lẹ́yìn ọdún mẹ́wàá tí a ti lò ó, ìyípadà irun kò tó ẹgbẹ̀rún kan nínú ọgọ́rùn-ún irun ènìyàn kan
Iduroṣinṣin yii ti o fẹrẹ jẹ “aibikita oye” wa lati inu awọn jiini mẹta ti awọn ohun elo silikoni carbide:
1. Iye ìfàsẹ́yìn ooru súnmọ́ òdo: ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ “ọjọ́-orí dídì” láti -150 ℃ sí 500 ℃
2. Ó le ju irin lọ ní ìlọ́po mẹ́ta: ó lè fara da ìbàjẹ́ kékeré tí ìbọn pàǹtíkì bá fà
3. Àwọn ànímọ́ fífún ara ẹni ní ìpara: Ṣe àṣeyọrí ìgbéjáde tí kò ní epo nínú àyíká afẹ́fẹ́
3, “Iyika ipalọlọ” ninu ile-iṣẹ semiconductor
Bí iṣẹ́ ṣíṣe ërún náà ṣe ń wọ àkókò 2-nanometer, àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide ń rú àwọn ààlà díẹ̀ sí i:
Àtẹ iṣẹ́ méjì: Ó gba àwọn ètò méjì láàyè láti parí “ìgbékalẹ̀ ìpele atomiki” ní àyíká afẹ́fẹ́.
Eto ipa ọna opitika EUV: o ni idiwọ si ibọn ti o tẹsiwaju ti ina ultraviolet ti o lagbara 13.5nm.
Ètò ìsopọ̀pọ̀ onípele púpọ̀: ṣíṣe àṣeyọrí àwọn ìgbésẹ̀ nanoscale 200 fún ìṣẹ́jú-àáyá kan láìsí àṣeyọrí àkópọ̀.
Ẹgbẹ́ Ríròrò àti D ẹ̀rọ ìwádìí kan ti ṣe àwọn àyẹ̀wò ìfiwéra: lẹ́yìn lílo ìpele iṣẹ́ seramiki silicon carbide, ìpéye ipò ètò náà ti sunwọ̀n sí i ní 40%, a sì ti fa àkókò ìtọ́jú ohun èlò náà láti oṣù mẹ́ta sí ọdún méjì. Ìyípadà yìí kìí ṣe pé ó dín iye owó ìṣelọ́pọ́ àwọn eerun kù nìkan ni, ó tún mú kí ìṣelọ́pọ́ “àwọn eerun China” dé iwájú àwọn ìlànà àgbáyé fún ìgbà àkọ́kọ́.
4, Ọ̀nà gíga láti yàrá yàrá sí iṣẹ́-ajé
Ṣíṣe àwọn ohun èlò amọ̀ onírin silikoni carbide tó ní ìpele lithography dà bí kíkọ́ “ààfin aláìlábùkù” ní ayé aláìlábùkù:
Ìmọ́tótó ohun èlò àìṣeéṣe: Lúùlù carbide onípele tó mọ́ jùlọ, tó mọ́ ju iyọ̀ tí a lè jẹ lọ ní ẹgbẹẹgbẹ̀rún ìgbà.
Ilana sintering: iṣakoso deede ti itọsọna idagbasoke kristali ni awọn iwọn otutu giga.
Iṣẹ́ ṣíṣe kedere nípa lílo àwọn irinṣẹ́ gígé dáyámọ́ńdì fún gbígbẹ́ ìwọ̀n kékeré gba àkókò tó pọ̀ tó bí àtúnṣe àwọn ohun ìṣẹ̀dá àṣà.
Ìṣẹ̀lẹ̀ méjì yìí ti “ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì ohun èlò àti ìṣelọ́pọ́ pípéye” ló ti mú kí àwọn ohun èlò tuntun, tí a ti fi pamọ́ sí àwọn ilé iṣẹ́ afẹ́fẹ́ àti ológun tẹ́lẹ̀, di àwọn ohun pàtàkì tí ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ọ̀làjú oní-nọ́ńbà báyìí.
Nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ chip lónìí, èyí tí ó ti dé ààlà ti ara, àwọn ohun èlò seramiki silicon carbide fi hàn pẹ̀lú àwọn ànímọ́ “òfo” rẹ̀ pé ìṣelọ́pọ́ gidi kìí ṣe ìtòjọ data, ṣùgbọ́n ìṣàkóso tó ga jùlọ lórí kókó àwọn ohun èlò. Nígbà tí gbogbo ohun èlò seramiki bá ní ìlérí àwọn mílíọ̀nù ìṣípo nanoscale, ohun tí a rí kìí ṣe ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò semiconductor nìkan, ṣùgbọ́n ìpinnu ilé iṣẹ́ orílẹ̀-èdè kan láti gbéra sí ibi gíga jùlọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-03-2025