Ao amin'ny milina litografia ho an'ny fanamboarana puce, ny fahadisoana tsy hita maso dia mety handrava wafers mitentina an-tapitrisany dolara. Ny mikrômetatra tsirairay amin'ny fifindrana eto dia tena ilaina amin'ny fahombiazana na ny tsy fahombiazan'ny circuits nanoscale, ary ny fotony izay manohana ity dihy precision ity dia ny mpandray anjara fototra androany:seramika silikônina karbida– toy ny hery mampiorina eo amin'ny tontolo bitika dia bitika izy io, miaro ny fahamarinan'ny indostrian'ny semiconductor maoderina amin'ny tontolo iainana tafahoatra.
1. Rehefa mihaona amin'ny poti-javatra ny seramika: fanamby faratampony amin'ny fahamarinan-toerana
Ireo singa seramika mazava tsara amin'ny milina litografia dia mila mitana anjara toerana telo miaraka:
Fototra tena mafy orina: mahazaka tsindry an-taonina maro amin'ny fotoana iharan'ny tsindry saingy tsy mihetsika.
Mpiambina ny mari-pana: mitazona ny fahamarinan'ny hafanana eo ambany fiantraikan'ny laser mahery vaika.
Vacuum Guardian: mitazona ny fisaka amin'ny ambaratonga atomika mandritra ny folo taona ao anatin'ny tontolo tsy misy hovitrovitra.
Ireo fitaovana metaly nentim-paharazana dia hiteraka "horohoro bitika" noho ny fivelarana sy ny fihenan'ny hafanana, raha toa kosa ka sarotra ny manohitra ny harafesina amin'ny plasma ny fitaovana polymer. Ny seramika silikônina karbida, miaraka amin'ny rafitra kristaly miavaka ananany, dia mahatratra fifandanjana tonga lafatra amin'ny hamafin'ny asa, ny fitarihana hafanana ary ny fanoherana ny fiovaovan'ny endrika, ka mahatonga azy ireo ho safidy voalohany ho an'ny singa fototra amin'ny milina litografia.
2、 Mpiambina tsy hita maso manana fahamarinan'ny ambaratonga nano
Ao amin'ireo milina litografia ambony indrindra toy ny ASML any Holandy, NIKON ary CANON any Japon, dia manoratra indray mangina ny fitsipiky ny famokarana mazava tsara ireo seramika karbida silikônina:
Dingana fanaovana saron-tava: mitondra saron-tava mitovy lanja amin'ny volamena, mitazona ny fahamarinan'ny toerana misy azy amin'ny ambaratonga nanometera mandritra ny fihetsehana haingam-pandeha.
Fitaratra taratra: Kely dia kely ny haratoan'ny ety ambonin'ny tany, malama kokoa noho ny velaran'ny fitaratra aza.
Efitra banga: Rehefa afaka folo taona fampiasana, dia latsaky ny ampaharivon'ny volo olombelona ny fiovaovan'ny endrika
Ity fahamarinan-toerana saika 'tsy mitombina' ity dia avy amin'ny fototarazo telo sosona amin'ny akora silikônina karbida:
1. Manatona aotra ny coefficient de expansion thermique: saika "vata mangatsiaka" manomboka amin'ny -150 ℃ ka hatramin'ny 500 ℃
2. Mafy kokoa intelo noho ny vy: mahatohitra fahasimbana bitika vokatry ny baomba avy amin'ny poti-javatra
3. Toetra mampiavaka ny fanosorana tena: Mahazoa fifindran'ny herinaratra marina tsy misy menaka ao anaty tontolo banga
3. Ny 'revolisiona mangina' eo amin'ny indostrian'ny semiconductor
Rehefa miditra amin'ny vanim-potoana 2-nanometer ny famokarana puce, dia mihoatra ny fetrany ny seramika silikônina karbida:
Latabatra fiasana roa sosona: ahafahan'ny rafitra roa mamita ny "fifandraisana ambaratonga atomika" ao anaty tontolo banga.
Rafitra lalan'ny optika EUV: mahatohitra ny baomba mitohy avy amin'ny hazavana ultraviolet tafahoatra 13.5nm.
Rafitra fifandraisana amin'ny axe maro: mahatratra dingana 200 nanoscale isan-tsegondra nefa tsy miteraka hadisoana miangona.
Nisy ekipa mpikaroka sy mpamorona milina litografia nanao fitiliana fampitahana: rehefa avy nampiasa sehatra seramika karbida silikônina, dia nihatsara 40% ny fahamarinan'ny toerana misy ny rafitra, ary nohalavaina ho 2 taona ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana avy amin'ny 3 volana ka hatramin'ny 3 taona. Tsy vitan'ny hoe mampihena ny vidin'ny famokarana "chips" fotsiny ity fiovana ity, fa mitondra ny fahamarinan'ny famokarana "chips sinoa" ho eo amin'ny laharana voalohany amin'ny fenitra iraisam-pirenena ihany koa.
4. Ny lalana miakatra avy amin'ny laboratoara mankany amin'ny indostria
Ny fanamboarana seramika silikônina karbida kilasy litografia dia toy ny fananganana 'lapa tsy misy tsiny' ao anatin'ny tontolo bitika dia bitika:
Fahadiovan'ny akora manta: Vovoka karbida silikônina madio dia madio, an'arivony heny noho ny sira azo hanina.
Dingana fanaovana sintering: fanaraha-maso mazava tsara ny fitarihan'ny fitomboan'ny kristaly amin'ny mari-pana avo.
Mitovy amin'ny fotoana famerenana amin'ny laoniny ny vakoka ara-kolontsaina ny fotoana fanodinana diamondra amin'ny alalan'ny fitaovana fanapahana diamondra ho an'ny sokitra amin'ny ambaratonga ambanin'ny micron.
Ity fandrosoana roa sosona eo amin'ny "siansa momba ny fitaovana + fanamboarana mazava tsara" ity no nahatonga ireo fitaovana maoderina, izay voafetra ho an'ny indostrian'ny fiaramanidina sy ny tafika taloha, ho singa fototra manohana ny sivilizasiona nomerika ankehitriny.
Ao anatin'ny dingana famokarana puce ankehitriny, izay nahatratra ny fetra ara-batana, ny seramika silikônina karbida dia manaporofo amin'ny toetrany "tsy misy marimaritra iraisana" fa ny tena fahamarinan-toerana dia tsy ny fanangonana angon-drakitra, fa ny fifehezana faratampony ny votoatin'ny fitaovana. Rehefa mitondra ny fampanantenana fihetsehana an-tapitrisany amin'ny nanoscale ny singa seramika tsirairay, dia tsy ny fivoaran'ny fitaovana semiconductor ihany no hitantsika, fa koa ny fahavononan'ny indostrian'ny firenena iray handroso mankany amin'ny fara tampon'ny fahamarinan-toerana.
Fotoana fandefasana: 03 Aprily 2025