Ao amin'ny milina litografika amin'ny famokarana chip, ny fahadisoana tsy hita maso dia mety hanimba ny wafers mitentina dolara an-tapitrisany. Ny fifindran'ny micrometer rehetra eto dia zava-dehibe amin'ny fahombiazana na ny tsy fahombiazan'ny fizaran-tany nanoscale, ary ny fototra manohana an'io dihy mazava tsara io dia ny protagonista ankehitriny:silisiôma carbide seramika fitaovana- toy ny hery mampatanjaka eo amin'ny tontolon'ny microscopic izy io, miambina ny zotram-piainan'ny indostrian'ny semiconductor maoderina amin'ny tontolo faran'izay mafy.
1, Rehefa mihaona amin'ny chips ny seramika: fanamby faratampony amin'ny fahitsiana
Ny singa seramika mazava tsara amin'ny milina lithography dia mila mitana andraikitra telo miaraka:
Fony tsy miorim-paka: mahazaka tsindry an-taoniny amin'ny fotoana hisehoana fa tsy mihetsika.
Temperature sentinel: mitazona ny fitoniana mafana eo ambanin'ny fahatairana mafana amin'ny laser.
Vacuum Guardian: mitazona ny haavon'ny atomika mandritra ny folo taona amin'ny tontolo tsy misy vibration.
Ny akora metaly nentim-paharazana dia hamokatra “hovitrovitra mikraoba” noho ny fanitarana ny hafanana sy ny fihenan'ny hafanana, fa ny fitaovana polymère kosa dia sarotra ny manohitra ny harafesina plasma. Ny seramika karbida silikon, miaraka amin'ny firafitry ny kristaly tsy manam-paharoa, dia mahatratra fifandanjana tonga lafatra amin'ny hamafin'ny hafanana, ny conductivity mafana ary ny fanoherana ny deformation, ka mahatonga azy ireo ho safidy tsara indrindra ho an'ny singa fototra amin'ny milina lithography.
2, Nano level precision 'invisible bodyguard'
Ao amin'ny milina litografika ambony indrindra toa ny ASML any Holandy, NIKON ary CANON any Japon, ny seramika karbida silisiôma dia manoratra mangingina ny fitsipiky ny famokarana marina:
Dingan'ny saron-tava: mitondra saron-tava mitovitovy amin'ny volamena, mitazona ny fahitsiana ny haavon'ny nanometer mandritra ny hetsika haingam-pandeha.
Fitaovana fitaratra mitaratra: Kely dia kely ny hamafin'ny ety, malama kokoa noho ny tampon'ny fitaratra.
Efitrano banga: Rehefa afaka folo taona ny fampiasana, ny deformation dia latsaky ny arivo amin'ny volon'olombelona
Ity fitoniana saika 'anticommon sense' ity dia avy amin'ny fototarazo telo amin'ny akora karbida silisiôna:
1. Ny coefficient ny fanitarana mafana dia manakaiky ny aotra: saika "taona mangatsiaka" manomboka amin'ny -150 ℃ ka hatramin'ny 500 ℃
2. In-telo mahery noho ny vy: mahatohitra ny fahasimbana bitika vokatry ny daroka baomba
3. Toetran'ny fanosorana tena: Mahazo fifindran'ny solika tsy misy solika ao anaty tontolo banga
3, Ny 'revolisiona mangina' amin'ny indostrian'ny semiconductor
Rehefa miditra amin'ny vanim-potoana 2-nanometer ny fizotran'ny famokarana chip, dia mamakivaky fetra bebe kokoa ny seramika karbida silisiôma:
Toeram-piasana roa: mamela rafitra roa hamita ny "relay ambaratonga atomika" ao anaty tontolo banga.
Rafitra lalana optika EUV: mahatohitra baomba mitohy amin'ny hazavana ultraviolet mahery vaika 13.5nm.
Rafitra fifamatorana axis marobe: mahatratra 200 dingana nanoscale isan-tsegondra nefa tsy miteraka lesoka mitambatra.
Nisy ekipa R&D milina lithography sasany nanao fitsapana fampitahana: taorian'ny fampiasana ny dingana vita amin'ny seramika silisiôma karbida, dia nohatsaraina tamin'ny 40% ny fahamarinan'ny rafitra, ary nitarina hatramin'ny 3 volana ka hatramin'ny 2 taona ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana. Io fiovana io dia tsy mampihena fotsiny ny vidin'ny famokarana puce, fa mitondra ny fahamarinan'ny famokarana "puce sinoa" ho voalohany amin'ny fenitra iraisam-pirenena.
4, Ny lalana miakatra avy amin'ny laboratoara mankany amin'ny indostrialy
Ny fanamboarana seramika silisiôna silisiôna kilasy lithography dia toy ny fananganana 'palapa tsy misy kilema' ao amin'ny tontolo bitika:
Fahadiovan'ny akora manta: vovoka karbida silisiôma tena madio, avo an'arivony heny noho ny sira azo hanina.
Dingan'ny sintering: fanaraha-maso tsara ny fitarihana ny fitomboan'ny kristaly amin'ny hafanana avo.
Mitaky fotoana betsaka toy ny famerenana amin'ny laoniny ny vakoka ny fanaovana sokitra amin'ny haavo ambany micron amin'ny fampiasana fitaovana fanapahana diamondra.
Io fahatapahan'ny roa tonta amin'ny “material science+precision manufacturing” no nahatonga ny fitaovana manara-penitra, izay voafetra ho an'ny indostrian'ny aerospace sy miaramila, ankehitriny no lasa singa fototra manohana ny sivilizasiona nomerika.
Amin'ny dingan'ny famokarana chip amin'izao fotoana izao, izay nahatratra ny fetra ara-batana, ny seramika silisiôma karbida dia manaporofo amin'ny toetrany "tsy misy marimaritra iraisana" fa ny tena marina dia tsy ny fametrahana angon-drakitra, fa ny fanaraha-maso farany ny fototry ny fitaovana. Rehefa mitondra ny fampanantenana hetsika nanoscale an-tapitrisany ny singa seramika rehetra, ny zavatra hitantsika dia tsy ny fivoaran'ny fitaovana semiconductor ihany, fa ny fahatapahan-kevitry ny indostrian'ny firenena iray hizotra mankany amin'ny tampon'ny fahitsiana.
Fotoana fandefasana: Apr-03-2025