Карбиди кремний соли 1893 ҳамчун абразиви саноатӣ барои чархҳои суфтакунӣ ва тормозҳои автомобилӣ кашф карда шуд. Тақрибан дар миёнаҳои асри 20, истифодаи пластинаҳои SiC дар технологияи LED низ васеъ шуд. Аз он вақт инҷониб, он бо сабаби хосиятҳои муфиди физикии худ дар бисёр барномаҳои нимноқилӣ васеъ шудааст. Ин хосиятҳо дар доираи васеи истифодаи он дар саноати нимноқилҳо ва берун аз он намоёнанд. Бо ба назар чунин мерасад, ки Қонуни Мур ба ҳадди худ мерасад, бисёре аз ширкатҳо дар саноати нимноқилҳо ба карбиди кремний ҳамчун маводи нимноқилии оянда менигаранд. SiC-ро бо истифода аз политипҳои гуногуни SiC истеҳсол кардан мумкин аст, гарчанде ки дар саноати нимноқилҳо аксари субстратҳо ё 4H-SiC мебошанд, ки 6H- бо рушди бозори SiC камтар маъмул мешавад. Ҳангоми сухан дар бораи карбиди кремнийи 4H- ва 6H-, H сохтори шабакаи кристаллиро ифода мекунад. Рақам пайдарпайии қабатбандии атомҳоро дар дохили сохтори кристаллӣ ифода мекунад, ки ин дар ҷадвали қобилиятҳои SVM дар зер тавсиф шудааст. Бартариҳои сахтии карбиди кремний Истифодаи карбиди кремний нисбат ба субстратҳои анъанавии кремний бартариҳои зиёде дорад. Яке аз бартариҳои асосии ин мавод сахтии он аст. Ин ба мавод бартариҳои сершуморро дар барномаҳои суръати баланд, ҳарорати баланд ва/ё шиддати баланд медиҳад. Вафли карбиди кремний дорои гузаронандагии баланди гармӣ мебошад, ки маънои онро дорад, ки онҳо метавонанд гармиро аз як нуқта ба чоҳи дигар интиқол диҳанд. Ин гузаронандагии барқии онро ва дар ниҳоят миниатюризатсияро беҳтар мекунад, ки яке аз ҳадафҳои умумии гузариш ба вафли SiC мебошад. Имкониятҳои гармӣ Субстратҳои SiC инчунин коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ доранд. Васеъшавии гармӣ миқдор ва самти васеъшавӣ ё фишурдани мавод ҳангоми гармшавӣ ё хунукшавӣ мебошад. Шарҳи маъмултарин ях аст, гарчанде ки он бар хилофи аксари металлҳо рафтор мекунад, ҳангоми хунукшавӣ васеъ мешавад ва ҳангоми гармшавӣ хурд мешавад. Коэффисиенти пасти карбиди кремний барои васеъшавии гармӣ маънои онро дорад, ки он ҳангоми гармшавӣ ё хунукшавӣ дар андоза ё шакл ба таври назаррас тағйир намеёбад, ки онро барои насб кардан ба дастгоҳҳои хурд ва ҷойгир кардани транзисторҳои бештар ба як чип комил мегардонад. Бартарии дигари асосии ин субстратҳо муқовимати баланди онҳо ба зарбаи гармӣ мебошад. Ин маънои онро дорад, ки онҳо қобилияти зуд тағйир додани ҳароратро бидуни шикастан ё кафидан доранд. Ин ҳангоми истеҳсоли дастгоҳҳо бартарии возеҳро ба вуҷуд меорад, зеро он як хусусияти дигари устуворӣ аст, ки мӯҳлати хизмат ва самаранокии карбиди кремнийро дар муқоиса бо кремнийи анъанавии оммавӣ беҳтар мекунад. Илова бар қобилиятҳои гармидиҳии худ, он як субстрати хеле пойдор аст ва дар ҳарорати то 800°C бо кислотаҳо, ишқорҳо ё намакҳои гудохта реаксия намекунад. Ин ба ин субстратҳо дар истифодаашон чандирӣ медиҳад ва ба қобилияти онҳо барои беҳтар кардани сифати кремнийи оммавӣ дар бисёр барномаҳо мусоидат мекунад. Қувваи он дар ҳарорати баланд инчунин ба он имкон медиҳад, ки дар ҳарорати аз 1600°C бехатар кор кунад. Ин онро барои қариб ҳама гуна истифодаи ҳарорати баланд субстрати мувофиқ мегардонад.
Вақти нашр: июл-09-2019