Nínú ayé ìṣedéédé ti ilé-iṣẹ́ òde òní, àwọn ìyípadà kékeré ti àwọn ohun èlò sábà máa ń pinnu iṣẹ́ tó ga jùlọ ti ohun èlò.Àwọn ohun èlò amọ̀ tí a fi silikoni carbide ṣe, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ ara àrà ọ̀tọ̀ wọn, wọ́n ń di “olùtọ́jú líle” tí kò ṣeé yẹ̀ sílẹ̀ ní ẹ̀ka iṣẹ́ ọnà gíga. Àìfaradà àrà ọ̀tọ̀ tí ohun èlò seramiki tó ti ní sí ìbàjẹ́ ń ṣe ni láti tún ṣe àtúntò àwọn ìwọ̀n iṣẹ́ fún ohun èlò tí ó péye.
1, Koodu ijinle sayensi lile
Mọ́dùlù ìrọ̀rùn ti ohun èlò kan dàbí olùdarí fún wíwọ̀n ìrọ̀rùn, tí ó ń pinnu agbára rẹ̀ láti dènà ìbàjẹ́ lábẹ́ ìdààmú. Mọ́dùlù ìrọ̀rùn ti àwọn ohun èlò amọ̀ carbide silikoni ju ìlọ́po mẹ́ta lọ ti irin lásán, èyí tí ó mú kí ó jọ egungun ìrọ̀rùn irin tí ó wà nínú àwọn ilé nígbà tí a bá fi agbára tẹ̀ wọ́n - kódà lábẹ́ ẹrù agbára gíga ti àwọn ohun èlò wíwúwo, ìyípadà náà jẹ́ 1/4 ti àwọn ohun èlò irin nìkan.
Ìdúróṣinṣin aláìlẹ́gbẹ́ yìí wá láti inú ìṣètò ìsopọ̀ covalent tó lágbára nínú ohun èlò náà. Àtọ̀mù erogba kọ̀ọ̀kan so mọ́ àwọn átọ̀mù silikoni mẹ́rin nípasẹ̀ ìbáṣepọ̀ tó lágbára, tó ń ṣe ìṣètò kirisita nẹ́tíwọ́ọ̀kì onípele mẹ́ta. Nígbà tí agbára òde bá ń ṣiṣẹ́, ìṣètò lattice tó dúró ṣinṣin yìí lè tú ìdààmú ká kí ó sì ṣàkóso ìyípadà láàárín ìwọ̀n micrometer. Nínú àwọn pápá bíi àwọn ìpele opitika tó péye àti àwọn ohun èlò ìṣe semiconductor tí kò ní ìfaradà fún ìyípadà, ànímọ́ yìí di kọ́kọ́rọ́ láti rí i dájú pé ó péye.
2, Imọye awọn ohun elo ti o dapọ rigidity ati irọrun
Àwọn ohun èlò amọ̀ silikoni carbide kìí ṣe pé wọ́n ní agbára gíga nìkan, wọ́n tún ní iṣẹ́ tó dára jùlọ:
1. Ó le koko ṣùgbọ́n kò le koko: Agbára títẹ̀ rẹ̀ ju ti irin pàtàkì lọ, àti pé lábẹ́ ìfúnpá tí ó dọ́gba pẹ̀lú ti erin àgbàlagbà tí ó dúró lórí ẹsẹ̀ kan (tó tó 400MPa), ó ṣì lè pa ìdúróṣinṣin ìṣètò mọ́. Àpapọ̀ agbára gíga àti ìdúróṣinṣin gíga yìí yanjú ìṣòro ilé-iṣẹ́ ti àwọn ohun èlò amọ̀ ìbílẹ̀ tí ó jẹ́ aláìlera.
2. Iduroṣinṣin ooru bi oke: Iwọn afikun ooru ti ohun elo naa jẹ idaji mẹrin ti irin nikan, ati iyipada iwọn jẹ kere ni iyatọ iwọn otutu ti 200 ℃. Ni apapo pẹlu agbara itanna ooru ti o dara julọ, o le ṣe iwọntunwọnsi awọn ipele iwọn otutu ni kiakia ki o yago fun ikojọpọ awọn iyipada ti wahala ooru fa.
3. Àìyípadà: Lábẹ́ wahala tí ń bá a lọ, ìwọ̀n yíyípo ti silikoni carbide kéré sí ìpele méjì ti ìwọ̀n ju ti àwọn ohun èlò irin lọ. Èyí túmọ̀ sí wípé bí ó tilẹ̀ jẹ́ pé a fi ẹrù kan náà sí i fún ọdún mẹ́wàá, a ṣì lè ṣàkóso àwọn ìyípadà ìrísí rẹ̀ lábẹ́ ààlà ìwádìí ohun èlò.
3, iye imo-ero ti o lagbara
Agbara iyalẹnu yii lati koju ibajẹ n ṣẹda awọn aye ile-iṣẹ tuntun:
Nínú àwọn ètò ìrísí ojú-ìwòye sátẹ́láìtì, rí i dájú pé dígí náà ń ṣe àtúnṣe ìwọ̀n nanometer lábẹ́ ìyàtọ̀ otutu tó ga jùlọ nínú ààyè.
Ṣetọju ipo deedee ti ipo iṣipopada ti awọn ohun elo sisẹ wafer semiconductor lakoko iṣẹ iyara giga.
Ṣetọju iduroṣinṣin jiometiriki ti eto ti a fi edidi ti yara titẹ ti awọn ohun elo iwadii okun jinna paapaa labẹ titẹ omi ti o wa ni ipele kilomita.
A n yi anfani ohun elo yii pada si idije imọ-ẹrọ nipasẹ awọn ilana tuntun: lilo awọn ọna iṣelọpọ ilọsiwaju lati mu iwuwo ohun elo pọ si; Nipa lilo imọ-ẹrọ ti o ni iwe-aṣẹ ti o ti ni ilọsiwaju, agbara ni a mu pọ si lakoko ti o n ṣetọju lile giga-giga. Ẹgbẹ kọọkan ti awọn ohun elo ni a ṣe idanwo lile lati rii daju pe awọn ọja ti a fi jiṣẹ pade tabi paapaa kọja awọn ibeere alabara.
Lónìí, bí iṣẹ́ ṣíṣe kòríkòrí ṣe ń lọ sí nanoscale, àwọn ohun èlò amọ̀ silicon carbide ń túmọ̀ sí iṣẹ́ ilé-iṣẹ́ òde òní pẹ̀lú “ìmọ̀ ọgbọ́n orí” rẹ̀ – nípa lílo ìdúróṣinṣin pátápátá ti àwọn ohun èlò láti ṣètìlẹ́yìn fún àwọn àǹfààní àìlópin ti iṣẹ́ ṣíṣe. Ìṣẹ̀lẹ̀ ìmọ̀-ẹ̀rọ yìí, tí ó ṣàfihàn ọgbọ́n ìmọ̀-ẹ̀rọ ohun èlò, yóò máa tẹ̀síwájú láti fi agbára tuntun ti “lílo líle láti borí ìyípadà” sínú iṣẹ́ ṣíṣe ohun èlò gíga.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-29-2025