បំពង់ការពារស៊ីលីកុនកាប៊ីត
នៅក្នុងឧស្សាហកម្មដែលលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរគំរាមកំហែងដល់ភាពសុចរិតនៃឧបករណ៍បំពង់ការពារស៊ីលីកុនកាបៃ (SiC)លេចចេញជាដំណោះស្រាយថ្មីមួយ។ មិនដូចសម្ភារៈការពារធម្មតាទេ បំពង់ SiC រួមបញ្ចូលគ្នានូវវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់ជាមួយនឹងវិស្វកម្មរឹងមាំដើម្បីការពារឧបករណ៍ និងដំណើរការសំខាន់ៗ។ វាមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម៖
១. ការការពារដែលមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបានក្នុងស្ថានភាពអរិភាព
បំពង់ការពារ SiC ដើរតួជាខ្សែការពារទីមួយនៅក្នុងបរិស្ថានដែលការបរាជ័យមិនមែនជាជម្រើសមួយ៖
(1) ការការពារកម្ដៅ៖ ទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពជាប់លាប់រហូតដល់ 1600°C ការពារឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា ទែម៉ូកូប ឬឧបករណ៍ស៊ើបអង្កេតពីលោហធាតុរលាយ អណ្តាតភ្លើង និងប្លាស្មា។
(2)ភាពស៊ាំគីមី៖ ទប់ទល់នឹងការច្រេះពីអាស៊ីត (ឧ. ស្ពាន់ធ័រ អ៊ីដ្រូក្លរីក) អាល់កាឡាំង និងឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មដូចជាក្លរីន ឬអុកស៊ីដស្ពាន់ធ័រ។
ភាពធន់នឹងការកកិត៖ ការពារប្រឆាំងនឹងភាគល្អិតសំណឹកនៅក្នុងគ្រែរាវ ម៉ាស៊ីនបំលែងឧស្ម័នធ្យូងថ្ម ឬប្រតិបត្តិការរុករករ៉ែ។
2. ភាពជាក់លាក់ និងស្ថេរភាពសម្រាប់ការវាស់វែងសំខាន់ៗ
នៅក្នុងដំណើរការឧស្សាហកម្មដែលមានហានិភ័យខ្ពស់ ភាពត្រឹមត្រូវគឺមានសារៈសំខាន់បំផុត។ បំពង់ SiC បង្កើនភាពជឿជាក់ដោយ៖
(1) ការកាត់បន្ថយការជ្រៀតជ្រែកសញ្ញា៖ លក្ខណៈសម្បត្តិមិនដឹកនាំចរន្តការពារការរំខានអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចនៅក្នុងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអេឡិចត្រូនិក។
(2) ស្ថេរភាពកម្ដៅ៖ ការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅស្ទើរតែសូន្យធានានូវការតម្រឹម និងភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែងដែលស៊ីសង្វាក់គ្នាក្រោមការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាពយ៉ាងឆាប់រហ័ស។
(3) ភាពរឹងមាំនៃឧស្ម័ន៖ រចនាសម្ព័ន្ធមិនជ្រាបទឹកការពារការជ្រៀតចូលឧស្ម័ន ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ប្រព័ន្ធសុញ្ញកាស ឬបរិយាកាសដែលគ្រប់គ្រង។
៣. ការបើកដំណើរការបច្ចេកវិទ្យាជំនាន់ក្រោយ បំពង់ការពារ SiC ដោះសោរនូវភាពច្នៃប្រឌិតនៅក្នុងវិស័យដែលកំពុងរីកចម្រើន៖
(1) សេដ្ឋកិច្ចអ៊ីដ្រូសែន៖ បម្រើជាស្រោមប្រើប្រាស់បានយូរសម្រាប់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាក្នុងការផលិតអ៊ីដ្រូសែន ការផ្ទុក និងកោសិកាឥន្ធនៈ ដោយទប់ទល់នឹងការផុយស្រួយ និងការប៉ះពាល់នឹង H₂ សម្ពាធខ្ពស់។
(2) ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក៖ ការពារឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអុបទិក និងកម្ដៅនៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រ CVD (Chemical Vapor Deposition) ពីសារធាតុបឋមដែលกัดกร่อนដូចជាស៊ីឡាន ឬអាម៉ូញាក់។
(3) ការរុករកអវកាស៖ ឧបករណ៍ការពារនៅក្នុងម៉ាស៊ីនរ៉ុក្កែត និងយានស៊ើបអង្កេតភពពីជម្រាលកម្ដៅខ្លាំង និងវិទ្យុសកម្មលោហធាតុ។
៤. ប្រសិទ្ធភាពចំណាយតាមរយៈអាយុកាលយូរអង្វែង
ខណៈពេលដែលបំពង់ SiC មានតម្លៃខ្ពស់ជាងមុន អត្ថប្រយោជន៍នៃវដ្តជីវិតរបស់វាកំណត់តម្លៃឡើងវិញ៖
(1) កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ៖ ប្រើប្រាស់បានយូរជាងជម្រើសលោហៈ ឬរ៉ែថ្មខៀវ ៤-៦ ដង ក្នុងការកំណត់សំណឹក ឬអាស៊ីត ដែលកាត់បន្ថយការថែទាំដែលមិនបានគ្រោងទុក។
(2) តម្រូវការថ្នាំកូតសូន្យ៖ មិនដូចលោហៈដែលត្រូវការថ្នាំកូតការពារទេ លក្ខណៈសម្បត្តិដែលមាននៅក្នុង SiC លុបបំបាត់ការចំណាយលើការព្យាបាលផ្ទៃដដែលៗ។
(3) លទ្ធភាពប្រើប្រាស់ឡើងវិញ៖ រស់រានមានជីវិតពីវដ្តដំណើរការច្រើនក្នុងកម្មវិធីដូចជាការចាក់លោហៈ ឬការបង្កើតកញ្ចក់ដោយគ្មានការរិចរិល។
៥. ការប្ដូរតាមបំណងសម្រាប់តម្រូវការឯកទេស
បំពង់ការពារ SiC សម្របខ្លួនទៅនឹងបញ្ហាប្រឈមពិសេសតាមរយៈវិស្វកម្មដែលត្រូវបានរចនាឡើងតាមតម្រូវការ៖
(1) ការរចនាបែបចម្រុះ៖ រួមបញ្ចូលជាមួយលោហធាតុ ឬសេរ៉ាមិចសម្រាប់ការផ្គុំពហុមុខងារ (ឧទាហរណ៍ ឧបករណ៍ភ្ជាប់ដែលមានខ្សែស្រឡាយ គែម)។
(2) ការកែប្រែផ្ទៃ៖ ផ្នែកខាងក្នុងរលោងសម្រាប់កម្មវិធីអុបទិក ឬផ្នែកខាងក្រៅដែលមានវាយនភាពដើម្បីបង្កើនការរលាយកំដៅ។
(3) ភាពបត់បែនទំហំ៖ ផលិតពីមីលីម៉ែត្រ (រ៉េអាក់ទ័រខ្នាតមន្ទីរពិសោធន៍) ដល់ម៉ែត្រ (ឡដុតឧស្សាហកម្ម)។
៦. ការសម្របសម្រួលនិរន្តរភាព
បំពង់ SiC គាំទ្រដល់ការអនុវត្តឧស្សាហកម្មដែលមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថាន៖
(1) ការសន្សំសំចៃថាមពល៖ ប្រសិទ្ធភាពកម្ដៅខ្ពស់កាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ប្រេងឥន្ធនៈឡរហូតដល់ 20% បើប្រៀបធៀបទៅនឹងខែលដែក។
(2) ការកាត់បន្ថយកាកសំណល់៖ អាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរកាត់បន្ថយកាកសំណល់សម្ភារៈពីការជំនួសញឹកញាប់។
(3) ការកាត់បន្ថយជាតិពុល៖ លុបបំបាត់តម្រូវការសម្រាប់ថ្នាំកូតដែលមានគ្រោះថ្នាក់ (ឧទាហរណ៍ យ៉ាន់ស្ព័រដែលមានមូលដ្ឋានលើនីកែល) នៅក្នុងបរិស្ថានដែលច្រេះ។
ក្រុមហ៊ុន Shandong Zhongpeng Special Ceramics Co., Ltd គឺជាដំណោះស្រាយសម្ភារៈថ្មីដ៏ធំបំផុតមួយសម្រាប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបៃនៅក្នុងប្រទេសចិន។ សេរ៉ាមិចបច្ចេកទេស SiC៖ ភាពរឹងរបស់ Moh គឺ 9 (ភាពរឹងរបស់ New Moh គឺ 13) ជាមួយនឹងភាពធន់នឹងសំណឹក និងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់នឹងការកកិត និងការប្រឆាំងអុកស៊ីតកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ អាយុកាលសេវាកម្មរបស់ផលិតផល SiC គឺយូរជាងសម្ភារៈអាលុយមីញ៉ូម 92% ពី 4 ទៅ 5 ដង។ MOR របស់ RBSiC គឺ 5 ទៅ 7 ដងនៃ SNBSC វាអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់រាងស្មុគស្មាញជាងនេះ។ ដំណើរការសម្រង់តម្លៃគឺរហ័ស ការដឹកជញ្ជូនគឺដូចការសន្យា ហើយគុណភាពគឺល្អបំផុត។ យើងតែងតែតស៊ូក្នុងការប្រកួតប្រជែងគោលដៅរបស់យើង និងផ្តល់បេះដូងរបស់យើងត្រឡប់ទៅសង្គមវិញ។





