ວິທີການເຮັດທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບ: ຄູ່ມືທີ່ສົມບູນແບບ

ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ເປັນວັດສະດຸທີ່ນິຍົມໃຊ້ໃນການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ ເນື່ອງຈາກຄວາມແຂງ, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ. ໃນບັນດາຫຼາຍຮູບແບບ, ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບມີຄຸນຄ່າເປັນພິເສດສຳລັບຄວາມທົນທານ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງມັນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງ. ບົດຄວາມນີ້ຈະເຈາະເລິກເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການຜະລິດທີ່ສັບສົນທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບ, ໂດຍສຸມໃສ່ການຜະລິດທໍ່ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປະສົມປະຕິກິລິຍາ.

ເຂົ້າໃຈຊິລິກອນຄາໄບດ໌

ກ່ອນທີ່ພວກເຮົາຈະເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການຜະລິດ, ມັນເປັນສິ່ງສຳຄັນທີ່ຈະຕ້ອງເຂົ້າໃຈວ່າຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນຫຍັງ. ຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນສານປະກອບຂອງຊິລິກອນ ແລະ ຄາບອນ ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີໃນດ້ານຄຸນສົມບັດທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງມັນ. ມັນເປັນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຜຸພັງ ແລະ ການກັດກ່ອນ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການບິນອະວະກາດ, ຍານຍົນ ແລະ ການປຸງແຕ່ງທາງເຄມີ.

ການກະກຽມວັດຖຸດິບ

ຂັ້ນຕອນທຳອິດໃນການຜະລິດທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນການກະກຽມວັດຖຸດິບ. ຜົງຊິລິກອນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ແລະ ຜົງຄາບອນແມ່ນເງື່ອນໄຂເບື້ອງຕົ້ນສຳລັບການຜະລິດຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ (RBSC). ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜົງເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ; ສິ່ງເຈືອປົນໃດໆຈະສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຮ້າຍແຮງຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການແຈກຢາຍຂະໜາດອະນຸພາກຂອງຜົງຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງ. ຂະໜາດອະນຸພາກທີ່ເປັນເອກະພາບຮັບປະກັນວ່າວັດສະດຸມີປະຕິກິລິຍາຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຜົາ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍມີຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ແຂງແຮງກວ່າ.

ສ່ວນປະກອບ ແລະ ການປະສົມ

ເມື່ອກະກຽມວັດຖຸດິບແລ້ວ, ຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປແມ່ນການປະສົມ ແລະ ການປະສົມ. ຂະບວນການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການຄວບຄຸມອັດຕາສ່ວນຂອງຜົງຊິລິກອນຕໍ່ຜົງຄາບອນຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ອັດຕາສ່ວນທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍເພາະມັນກຳນົດປະຕິກິລິຍາເຄມີທີ່ຈະເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການເຜົາ. ການປະສົມຜົງຢ່າງລະອຽດເພື່ອຮັບປະກັນການແຈກຢາຍຢ່າງສະໝໍ່າສະເໝີແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການສ້າງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ສອດຄ່ອງກັນ. ຂັ້ນຕອນນີ້ມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍ; ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງໃດໆໃນສ່ວນປະສົມສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງໃນທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບສຸດທ້າຍ.

ການສ້າງຮູບຊົງຂອງທໍ່

ເມື່ອຂະບວນການປະສົມ ແລະ ການປະສົມສຳເລັດແລ້ວ, ຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປແມ່ນການປັ້ນທໍ່. ສິ່ງນີ້ສາມາດບັນລຸໄດ້ຜ່ານຫຼາຍວິທີການ, ລວມທັງການກົດເຢັນ (CIP) ຫຼື ການອັດດ້ວຍເຄື່ອງອັດ. CIP ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ຄວາມກົດດັນທີ່ເປັນເອກະພາບໃສ່ຜົງປະສົມໃນແມ່ພິມ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ໄດ້ຮູບຮ່າງທີ່ກະທັດຮັດ ແລະ ມີຮູບຮ່າງທີ່ດີ. ອີກທາງເລືອກໜຶ່ງ, ການອັດດ້ວຍເຄື່ອງອັດຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດປັ້ນວັດສະດຸໄດ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະສຳລັບການຜະລິດທໍ່ທີ່ຍາວກວ່າ. ການເລືອກວິທີການປັ້ນແມ່ນຂຶ້ນກັບຂະໜາດ ແລະ ລາຍລະອຽດທີ່ຕ້ອງການຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.

ຂະບວນການເຜົາໄໝ້

ຂະບວນການເຜົາໄໝ້ແມ່ນບ່ອນທີ່ມະຫັດສະຈັນເກີດຂຶ້ນ. ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບທີ່ສ້າງຂຶ້ນແລ້ວຖືກວາງໄວ້ໃນເຕົາອົບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງດ້ວຍຄວາມໄວໃນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ເວລາໃນການຖືທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນນີ້, ຜົງຊິລິກອນ ແລະ ຜົງຄາບອນຈະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີເພື່ອສ້າງໂຄງສ້າງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ໜາແໜ້ນ. ອຸນຫະພູມເຜົາໄໝ້ມັກຈະຢູ່ລະຫວ່າງ 1400°C ແລະ 2000°C, ຂຶ້ນກັບສູດສະເພາະ ແລະ ຄຸນສົມບັດທີ່ຕ້ອງການຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. ຂັ້ນຕອນນີ້ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍເພາະມັນກຳນົດຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນຂອງທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບ.

ເຕັກໂນໂລຊີຫຼັງການປຸງແຕ່ງ

ຫຼັງຈາກຂະບວນການເຜົາໄໝ້ສຳເລັດແລ້ວ, ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບຈະຜ່ານຂະບວນການປຸງແຕ່ງຫຼັງການປຸງແຕ່ງ. ຂັ້ນຕອນນີ້ລວມມີການເຄື່ອງຈັກ ແລະ ການຂັດຜິວໜ້າເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານມິຕິ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງໜ້າຜິວທີ່ແນ່ນອນ. ການເຄື່ອງຈັກອາດຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບການຕັດ, ການບົດ ຫຼື ການເຈາະເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຂະໜາດທີ່ຕ້ອງການ, ໃນຂະນະທີ່ການຂັດຜິວໜ້າຊ່ວຍເສີມຄວາມງາມ ແລະ ປະສິດທິພາບການເຮັດວຽກຂອງທໍ່. ການປຸງແຕ່ງຫຼັງການປຸງແຕ່ງແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍຕອບສະໜອງມາດຕະຖານອຸດສາຫະກຳ ແລະ ຂໍ້ກຳນົດຂອງລູກຄ້າ.

ມາດຕະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ

ຕະຫຼອດຂະບວນການຜະລິດ, ພວກເຮົາປະຕິບັດມາດຕະການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບໄດ້ຕອບສະໜອງມາດຕະຖານທີ່ຕ້ອງການ. ນີ້ລວມທັງການທົດສອບຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດຖຸດິບ, ການຕິດຕາມກວດກາຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການປະສົມ, ແລະ ການກວດກາໃນລະຫວ່າງ ແລະ ຫຼັງການເຜົາ. ເຕັກນິກທີ່ກ້າວໜ້າເຊັ່ນ: ການກະຈາຍລັງສີເອັກສ໌ ແລະ ກ້ອງຈຸລະທັດເອເລັກຕຣອນສະແກນສາມາດນຳໃຊ້ເພື່ອວິເຄາະໂຄງສ້າງຈຸລະພາກຂອງຊິລິກອນຄາໄບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າມັນຕອບສະໜອງມາດຕະຖານການປະຕິບັດທີ່ຈຳເປັນ.

ການນໍາໃຊ້ທໍ່ຊິລິໂຄນຄາໄບ

ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບດ໌ຖືກນຳໃຊ້ໃນການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍຍ້ອນຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຂອງມັນ. ໃນອຸດສາຫະກຳປຸງແຕ່ງທາງເຄມີ, ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສົ່ງສານແຫຼວທີ່ກັດກ່ອນ, ໃນຂະນະທີ່ໃນຂະແໜງການບິນອະວະກາດ, ພວກມັນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນສ່ວນປະກອບໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບດ໌ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ເພີ່ມຂຶ້ນໃນການນໍາໃຊ້ພະລັງງານ, ເຊັ່ນ: ເຕົາປະຕິກອນນິວເຄຼຍ ແລະ ກັງຫັນອາຍແກັສ, ບ່ອນທີ່ຄວາມສາມາດໃນການທົນທານຕໍ່ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງຂອງພວກມັນແມ່ນມີຄຸນຄ່າຫຼາຍ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ

ການຜະລິດທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນຂະບວນການທີ່ສັບສົນ ແລະ ລະອຽດອ່ອນ ເຊິ່ງຕ້ອງການຄວາມເອົາໃຈໃສ່ຢ່າງລະອຽດຕໍ່ລາຍລະອຽດໃນທຸກຂັ້ນຕອນ. ຕັ້ງແຕ່ການກະກຽມວັດຖຸດິບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ຈົນເຖິງການຄວບຄຸມຂະບວນການເຜົາໄໝ້ທີ່ຊັດເຈນ, ແຕ່ລະຂັ້ນຕອນມີບົດບາດສຳຄັນຕໍ່ຄຸນນະພາບ ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ. ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳຍັງສືບຕໍ່ຊອກຫາວັດສະດຸທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ, ຄວາມຕ້ອງການທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມສຳຄັນຍິ່ງຂຶ້ນທີ່ຈະເຂົ້າໃຈຂະບວນການຜະລິດຂອງເຂົາເຈົ້າ. ບໍ່ວ່າຈະໃຊ້ສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳ ຫຼື ການນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວໜ້າ, ທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບເປັນຕົວແທນໃຫ້ແກ່ຄວາມກ້າວໜ້າອັນສຳຄັນໃນວິທະຍາສາດວັດສະດຸ, ໃຫ້ຄວາມທົນທານ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.